公开(公告)号：KR100523937B1

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：KR1020040030669

申请日：2004-04-30

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박진원 ,  엄천일 ,  김정은 ,  조재근

IPC: G01D18/00

Abstract: 본 발명은 나노미터 수준까지 길이측정이 가능한 광간섭계와 피코미터 수준까지 길이측정이 가능한 X선 간섭계를 이용하여 LVDT의 선형성을 교정하는 교정장치에 관한 것이다. 이를 위해, 1축방향으로 왕복 이송이 가능하도록 설치되고, LVDT(210)가 탑재된 이송 스테이지(200); 이송 스테이지(200)의 이송에 따라 광간섭신호가 서로 다른 위상모드를 갖도록, 단일의 레이저를 조사하는 레이저 간섭부; 각 광간섭신호를 검출하도록 광학모듈(130, 140, 230)에 광학적으로 대응/배치되는 제 1, 2 광검출기(160, 170)와 위상검출기(180); 각 X선 간섭신호가 LVDT(210)의 변위구간을 세분할 수 있도록 한 X선 간섭부; X선 간섭블럭(310)의 변이에 따라 발생되는 각 X선 간섭신호를 검출하기 위해 X선의 진행방향상에 위치하는 X선 검출기(390); 변이에 따라 생성되는 X선 검출기(390)의 출력신호 및 이송 스테이지(200)의 이송에 따라 생성되는 위상검출기(180)의 출력신호에 각각 대응하는 상기 LVDT(210)의 출력신호를 획득하여 표시하는 제어수단이 제공된다.

公开(公告)号：KR1020050083437A

公开(公告)日：2005-08-26

申请号：KR1020040011952

申请日：2004-02-23

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박진원 ,  엄천일

IPC: G01B11/04

Abstract: 본 발명은 정수적인 위상주기의 측정원으로 광간섭구조를 사용하고, 비정수적인 위상주기의 측정원으로 엑스선 간섭구조를 사용하며, 반사경, 빔스플리트, 편광 빔스플리트 및 광모드변환 플레이트의 광학구조를 사용하여 메인 스테이지의 2차원상의 각축방향의 이동길이를 측정할 수 있는 광/엑스선 복합 간섭계를 이용한 2차원 길이 측정장치에 관한 것이다. 이러한 측정장치의 구조는 미세 정밀측정 시스템 분야에서 비교적 장거리(수 mm)에 속하는 거리를 피코미터 단위까지 정확하게 측정할 수 있고, 레이저광 간섭과 엑스선 간섭을 단순한 광학소자의 배치구조를 사용하여 복합 간섭구조로서 구현할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100628999B1

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：KR1020040011952

申请日：2004-02-23

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박진원 ,  엄천일

IPC: G01B11/04

Abstract: 본 발명은 정수적인 위상주기의 측정원으로 광간섭구조를 사용하고, 비정수적인 위상주기의 측정원으로 엑스선 간섭구조를 사용하며, 반사경, 빔스플리트, 편광 빔스플리트 및 광모드변환 플레이트의 광학구조를 사용하여 메인 스테이지의 2차원상의 각축방향의 이동길이를 측정할 수 있는 광/엑스선 복합 간섭계를 이용한 2차원 길이 측정장치에 관한 것이다. 이러한 측정장치의 구조는 미세 정밀측정 시스템 분야에서 비교적 장거리(수 mm)에 속하는 거리를 피코미터 단위까지 정확하게 측정할 수 있고, 레이저광 간섭과 엑스선 간섭을 단순한 광학소자의 배치구조를 사용하여 복합 간섭구조로서 구현할 수 있는 효과가 있다.
광간섭, 엑스선간섭, 레이저광, 빔스플리터, 위상변환, 피코미터, 길이측정