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公开(公告)号：KR100394963B1
公开(公告)日：2003-08-19
申请号：KR1020010034572
申请日：2001-06-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B5/08
Abstract: PURPOSE: A reflection control apparatus using a planar reflective mirror having a prism constant of zero is provided to measure accurately a mechanical constant or a prism constant of electro-optical distance meter by installing the planar reflective mirror on a side passing a center of a sphere of a spheric housing. CONSTITUTION: A planar reflective mirror(220) is vertically installed in the inside of a spheric housing(100). An inserting portion(120) is formed in the inside of the housing(100). The housing(100) is formed with a resin material or a metallic material such as aluminum or stainless steel. The planar reflective mirror(220) is vertically installed in the inserting portion(120). A cover(240) is used for contacting closely the planar reflective mirror(220) with the inside of the housing(100). A lower end portion of the housing(100) is combined with an upper portion of a tripod(300). A plurality of support bars(320) are formed on a lower portion of the tripod(300). A circular rotation body(420) is formed on an outer circumference of the tripod(300). A plurality of fixing screw portions(440) are inserted into one side of a position fixing plate(460). The fixing screw portion(440) is formed with a micrometer screw(470) and a position fixing screw(480).
Abstract translation: 目的：提供一种使用棱镜常数为零的平面反射镜的反射控制装置，通过在通过球体中心的一侧安装平面反射镜，准确测量电光测距仪的机械常数或棱镜常数 的球形房屋。 组成：平面反射镜（220）垂直安装在球形壳体（100）的内部。 插入部分（120）形成在壳体（100）的内部。 壳体（100）由树脂材料或诸如铝或不锈钢的金属材料形成。 平面反射镜（220）垂直安装在插入部分（120）中。 盖（240）用于使平面反射镜（220）与壳体（100）的内部紧密接触。 外壳（100）的下端部分与三脚架（300）的上部分结合。 多个支撑杆（320）形成在三脚架（300）的下部。 圆形旋转体（420）形成在三脚架（300）的外周上。 多个固定螺钉部分（440）插入位置固定板（460）的一侧。 固定螺钉部分（440）形成有测微螺钉（470）和位置固定螺钉（480）。
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公开(公告)号：KR100523937B1
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：KR1020040030669
申请日：2004-04-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01D18/00
Abstract: 본 발명은 나노미터 수준까지 길이측정이 가능한 광간섭계와 피코미터 수준까지 길이측정이 가능한 X선 간섭계를 이용하여 LVDT의 선형성을 교정하는 교정장치에 관한 것이다. 이를 위해, 1축방향으로 왕복 이송이 가능하도록 설치되고, LVDT(210)가 탑재된 이송 스테이지(200); 이송 스테이지(200)의 이송에 따라 광간섭신호가 서로 다른 위상모드를 갖도록, 단일의 레이저를 조사하는 레이저 간섭부; 각 광간섭신호를 검출하도록 광학모듈(130, 140, 230)에 광학적으로 대응/배치되는 제 1, 2 광검출기(160, 170)와 위상검출기(180); 각 X선 간섭신호가 LVDT(210)의 변위구간을 세분할 수 있도록 한 X선 간섭부; X선 간섭블럭(310)의 변이에 따라 발생되는 각 X선 간섭신호를 검출하기 위해 X선의 진행방향상에 위치하는 X선 검출기(390); 변이에 따라 생성되는 X선 검출기(390)의 출력신호 및 이송 스테이지(200)의 이송에 따라 생성되는 위상검출기(180)의 출력신호에 각각 대응하는 상기 LVDT(210)의 출력신호를 획득하여 표시하는 제어수단이 제공된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050083437A
公开(公告)日：2005-08-26
申请号：KR1020040011952
申请日：2004-02-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/04
Abstract: 본 발명은 정수적인 위상주기의 측정원으로 광간섭구조를 사용하고, 비정수적인 위상주기의 측정원으로 엑스선 간섭구조를 사용하며, 반사경, 빔스플리트, 편광 빔스플리트 및 광모드변환 플레이트의 광학구조를 사용하여 메인 스테이지의 2차원상의 각축방향의 이동길이를 측정할 수 있는 광/엑스선 복합 간섭계를 이용한 2차원 길이 측정장치에 관한 것이다. 이러한 측정장치의 구조는 미세 정밀측정 시스템 분야에서 비교적 장거리(수 mm)에 속하는 거리를 피코미터 단위까지 정확하게 측정할 수 있고, 레이저광 간섭과 엑스선 간섭을 단순한 광학소자의 배치구조를 사용하여 복합 간섭구조로서 구현할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100628999B1
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：KR1020040011952
申请日：2004-02-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/04
Abstract: 본 발명은 정수적인 위상주기의 측정원으로 광간섭구조를 사용하고, 비정수적인 위상주기의 측정원으로 엑스선 간섭구조를 사용하며, 반사경, 빔스플리트, 편광 빔스플리트 및 광모드변환 플레이트의 광학구조를 사용하여 메인 스테이지의 2차원상의 각축방향의 이동길이를 측정할 수 있는 광/엑스선 복합 간섭계를 이용한 2차원 길이 측정장치에 관한 것이다. 이러한 측정장치의 구조는 미세 정밀측정 시스템 분야에서 비교적 장거리(수 mm)에 속하는 거리를 피코미터 단위까지 정확하게 측정할 수 있고, 레이저광 간섭과 엑스선 간섭을 단순한 광학소자의 배치구조를 사용하여 복합 간섭구조로서 구현할 수 있는 효과가 있다.
광간섭, 엑스선간섭, 레이저광, 빔스플리터, 위상변환, 피코미터, 길이측정-
公开(公告)号：KR1020020096243A
公开(公告)日：2002-12-31
申请号：KR1020010034572
申请日：2001-06-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B5/08
Abstract: PURPOSE: A reflection control apparatus using a planar reflective mirror having a prism constant of zero is provided to measure accurately a mechanical constant or a prism constant of electro-optical distance meter by installing the planar reflective mirror on a side passing a center of a sphere of a spheric housing. CONSTITUTION: A planar reflective mirror(220) is vertically installed in the inside of a spheric housing(100). An inserting portion(120) is formed in the inside of the housing(100). The housing(100) is formed with a resin material or a metallic material such as aluminum or stainless steel. The planar reflective mirror(220) is vertically installed in the inserting portion(120). A cover(240) is used for contacting closely the planar reflective mirror(220) with the inside of the housing(100). A lower end portion of the housing(100) is combined with an upper portion of a tripod(300). A plurality of support bars(320) are formed on a lower portion of the tripod(300). A circular rotation body(420) is formed on an outer circumference of the tripod(300). A plurality of fixing screw portions(440) are inserted into one side of a position fixing plate(460). The fixing screw portion(440) is formed with a micrometer screw(470) and a position fixing screw(480).
Abstract translation: 目的：提供一种使用棱镜常数为零的平面反射镜的反射控制装置，通过将平面反射镜安装在通过球体中心的一侧，准确地测量电光距离计的机械常数或棱镜常数 的球体。 构成：平面反射镜（220）垂直地安装在球形壳体（100）的内部。 插入部分（120）形成在壳体（100）的内部。 壳体（100）由树脂材料或铝或不锈钢等金属材料形成。 平面反射镜（220）垂直地安装在插入部分（120）中。 盖（240）用于使平面反射镜（220）与壳体（100）的内部紧密接触。 壳体（100）的下端部与三脚架（300）的上部组合。 多个支撑杆（320）形成在三脚架（300）的下部。 在三脚架（300）的外圆周上形成圆形旋转体（420）。 多个固定螺丝部分（440）插入位置固定板（460）的一侧。 固定螺丝部分（440）由微米螺钉（470）和定位螺钉（480）形成。
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公开(公告)号：KR100212948B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019970012550
申请日：1997-04-04
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B9/02083 , G01B11/14 , G02B5/1861
Abstract: A method of absolutely measuring the diffraction grating spacing and apparatus thereof, which solves the disadvantages of conventional techniques for measuring the diffraction grating spacing, and provides a method utilizing a new laser diffractometer capable of transferring the meter standard to the nanometer region. The invention comprises a first method which utilizes a wavelength stable laser for generating a stable laser beam of wavelength lambda , 0th and 1st order diffracted beams diffracted at the diffraction grating, and a precision rotary encoder; and a second method utilizing two wave lengths lambda 1, lambda 2 of the wavelength stable laser, 0th and 1st order diffracted beams, and a precision rotary encoder.
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公开(公告)号：KR1019980076047A
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019970012550
申请日：1997-04-04
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 회절격자 간격의 절대측정방법 및 그 장치에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 회절격자 간격을 측정하기 위한 종래 기술의 단점을 극복하고 나노미터 영역에 미터표준을 직접 소급시킬 수 있는 새로운 레이저 회절계를 이용한 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 회절격자 간격을 측정하기 위한 종래 기술의 단점을 극복하고 나노미터 영역에 미터표준을 직접 소급시킬 수 있는 새로운 레이저 회절계를 이용한 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 방법은 회절격자 간격을 절대측정 할 수 있도록 파장 λ인 안정화 레이저와 0차 및 1차 회전빔과 정밀 회전각도 측정기를 이용한 방법과; 안정화 레이저의 두 파장 λ
1 과 λ
2 및 1차 회절빔 그리고 정밀 회전각도 측정기를 이용한 방법으로 이루어진다.
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