公开(公告)号：KR101360891B1

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：KR1020120039524

申请日：2012-04-17

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강상우 ,  신용현 ,  김영헌 ,  김태성 ,  문지훈 ,  이준희 ,  박현국

IPC: G01N15/02 ,  G01N15/14 ,  G01N23/225 ,  H01J37/26

Abstract: 본 발명에 의한 입자측정장치는, 전자생성 및 집속이 이루어지며, 내부를 진공으로 유지하는 메인 프레임; 상기 메인 프레임과 결합되는 제 1 챔버; 상기 제 1 챔버의 내부 공간에 설치되는 입자 포집유닛; 상기 제 1 챔버에 상기 입자 포집유닛을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 포집된 입자를 광학적으로 측정 가능한 제 1 검출유닛; 상기 제 1 챔버에 상기 입자 포집유닛을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 입자를 주입하는 제 2 검출유닛;을 포함하며, 상기 입자 포집유닛은, 상기 제 1 검출유닛의 스테이지 역할과, 상기 제 2 검출유닛으로부터 주입된 입자의 포집 역할을 동시에 수행하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020130116986A

公开(公告)日：2013-10-25

申请号：KR1020120039524

申请日：2012-04-17

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강상우 ,  신용현 ,  김영헌 ,  김태성 ,  문지훈 ,  이준희 ,  박현국

IPC: G01N15/02 ,  G01N15/14 ,  G01N23/225 ,  H01J37/26

Abstract: PURPOSE: A particle composite property measuring device is provided to enable the correction of the size distribution on a real time by correcting the size of particles grasped by observing images. CONSTITUTION: A particle composite property measuring device includes a main frame (10), a first chamber (30), a particle collection unit (50), a first detection unit (20), and a second detection unit (40). The main frame generates and collects electrons and maintains the vacuum state of the inside. The first chamber is joined to the main frame. The particle collection member is installed inside an internal space (31) of the first chamber. The first detection unit is installed on the first chamber to face the particle collection unit and optically measure the particles collected by the particle collection unit. The second detection unit is installed on the first chamber to face the particle collection unit and injects the particles into the particle collection unit. The particle collection unit performs a function of a stage for the first detection unit and collects the injected articles from the second detection unit.

Abstract translation: 目的：提供一种粒子复合特性测量装置，通过校正通过观察图像掌握的颗粒的尺寸，实时地校正尺寸分布。 构成：颗粒复合材料性质测量装置包括主框架（10），第一室（30），颗粒收集单元（50），第一检测单元（20）和第二检测单元（40）。 主框架产生和收集电子并保持内部的真空状态。 第一个室连接到主框架。 颗粒收集构件安装在第一室的内部空间（31）内。 第一检测单元安装在第一室上以面对颗粒收集单元并且光学地测量由颗粒收集单元收集的颗粒。 第二检测单元安装在第一室上以面对颗粒收集单元并将颗粒注入颗粒收集单元。 粒子收集单元对第一检测单元执行阶段的功能，并从第二检测单元收集注入的物品。