公开(公告)号：KR100996227B1

公开(公告)日：2010-11-23

申请号：KR1020080075397

申请日：2008-08-01

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 안상정 ,  박병천 ,  강영호 ,  최진호 ,  정광훈

IPC: G01Q70/12 ,  G01Q70/16 ,  B82Y35/00

CPC classification number: G01Q70/12

Abstract: 본 발명은 SPM 나노탐침 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침에 있어서, 상기 탐침은 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)에 의해 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 한 구조를 포함하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1.5 내지 8.5 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침에 관한 것으로, 본 발명의 SPM 나노탐침은 나노니들의 선단부에 형성되는 구형의 증착물의 직경 및 나노니들의 단면직경과 상기 구형의 증착물의 직경의 비를 임의적으로 조절하여 굴곡이 심한 표면 또는 패턴에서 표면, 바닥, 및 측벽의 형상 그리고 마찰력 및 접착력을 보다 안전하고 정밀하게 측정할 수 있다.
SPM 나노탐침, 나노니들, 증착물, 입자빔 유도증착

公开(公告)号：KR1020100019587A

公开(公告)日：2010-02-19

申请号：KR1020080075397

申请日：2008-08-01

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 안상정 ,  박병천 ,  강영호 ,  최진호 ,  정광훈

IPC: G01Q70/12 ,  G01Q70/16 ,  B82Y35/00

CPC classification number: G01Q70/12

Abstract: PURPOSE: An SPM(Scanning Probe Microscope) nanoprobe and a manufacturing method thereof for accurately measuring frictional force and adhesive force in a pattern are provided to control the ratio of a diameter of the deposit of a sphere and the diameter of the nano-needle. CONSTITUTION: A probe comprises a structure in which the deposit of a sphere is formed by particle beam induced deposition in the tip-end part of a nano-needle(20). A sectional diameter of the nano-needle and diameter of a circular deposit are range from 8.5 to 1.5. The diameter of the deposit of sphere is 15 nm to 1,000 nm range. In the particle beam conduction evaporation, the particle acceleration voltage is 50 kV range to 5. A particle density researched in the tip-end part is 400 to 10000.

Abstract translation: 目的：提供用于精确测量图案中的摩擦力和粘附力的SPM（扫描探针显微镜）纳米探针及其制造方法，以控制球体沉积物的直径与纳米针的直径之比。 构成：探针包括其中通过在纳米针（20）的前端部分中的粒子束感应沉积形成球体沉积物的结构。 纳米针的截面直径和圆形沉积物的直径为8.5至1.5。 球体沉积物的直径为15nm至1000nm范围。 在粒子束传导蒸发中，粒子加速电压为50kV至5.尖端部分研究的粒子密度为400〜10000。