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公开(公告)号：WO2016105109A1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：PCT/KR2015/014143
申请日：2015-12-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01Q60/24
Abstract: 본 발명의 목적은 원자간력 현미경(AFM)의 헤드 구조를 최적화함으로써, 중량 및 부피 최소화와 구조적 안정성 향상을 실현하는 원자간력 현미경용 일체형 헤드를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은, 이러한 일체형 헤드를 장착함으로써 동적 특성이 향상되어 고속 헤드 스캔이 가능해서 대면적 샘플 이미징에 활용할 수 있는 헤드 일체형 원자간력 현미경을 제공함에 있다. 본 발명의 또다른 목적은, 이처럼 동적 특성이 향상된 헤드 일체형 원자간력 현미경과 전자 현미경 또는 광학 현미경을 융합함으로써, 고속 위치탐색 및 이미징이 가능함과 동시에 관심 영역에서는 원자상 수준까지의 3차원 형상의 정밀 관찰이 가능하도록 하는, 헤드 일체형 원자간력 현미경을 포함한 융합 현미경을 제공함에 있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于原子力显微镜（AFM）的集成头，通过AFM的头部结构的优化，其具有最小的重量和体积以及改进的结构完整性。 本发明的另一个目的是提供一种头部集成的AFM，其具有安装在其上的上述集成头，并且具有改善的动态特性，使得可以进行高速头扫描，并且AFM可用于广域样本成像。 本发明的另一个目的是提供一种复合显微镜，其包括头部集成的AFM，复合显微镜是具有改善的动态特性的上述头部集成AFM和电子显微镜或光学显微镜的组合，以便是 能够进行高速位置跟踪和成像，以及在原子级别上感兴趣区域中的3D形状的详细观察。
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公开(公告)号：WO2012176948A1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/KR2011/004639
申请日：2011-06-24
Abstract: 본 발명은 계측의 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 융합계측장치를 개시한다. 그의 장치는 기판 표면을 원자레벨 수준으로 계측하는 원자현미경과, 상기 원자현미경 및 상기 기판을 계측하는 전자현미경과, 상기 전자현미경으로 상기 원자현미경 및 상기 기판을 모니터링 할 때, 원자현미경의 캔틸레버에 가려지는 기판 상의 이차전자의 경로를 왜곡하여 전자현미경의 전자 검출기로 진행시키는 적어도 하나의 전극을 포함한다.
Abstract translation: 提供了一种增加或最大化测量可靠性的融合测量装置。 该融合测量装置包括：用于以原子级测量衬底表面的原子显微镜; 用于测量原子显微镜和基底的电子显微镜; 以及至少一个电极，其使由原子显微镜的悬臂覆盖的基板上的二次电子的路径变形，使得二次电子进入电子显微镜的电子检测器。
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公开(公告)号：WO2017116155A1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：PCT/KR2016/015456
申请日：2016-12-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 목적은 정밀하고 미세한 이동을 수행함에 있어서 단순한 구조를 통해 시스템 복잡성을 최소화하면서 원하는 이동을 원활하게 수행할 수 있도록 하는 구조를 가지는, 변위전달용 선형구조물 및 이를 이용한 1차원 및 3차원 미세 이동 장치를 제공함에 있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于位移传输的线性结构，其具有能够通过简单的结构在执行精确和精细移动的同时最小化系统复杂性而平稳地执行期望的移动的结构 并提供一种使用其的一维和三维精细运动装置。
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公开(公告)号：WO2009096728A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/KR2009/000451
申请日：2009-01-30
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 포토 마스크 수리방법을 개시한다. 수리용 원자현미경 탐침이 포토 마스크의 결함 부분에 위치하도록 하고, 상기 수리용 원자현미경 탐침을 왕복 동작시키는 것에 의하여 상기 포토 마스크의 결함 부분을 제거하고, 상기 수리용 원자현미경 탐침에 의한 상기 포토 마스크의 수리 과정을 전자현미경으로 관찰하고, 그리고 상기 수리용 원자현미경 탐침과는 다른 관측용 원자현미경 탐침을 사용하여 수리 후의 상기 포토 마스크의 형상을 인-시츄(in-situ)로 확인한다.
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公开(公告)号：KR1020110100052A
公开(公告)日：2011-09-09
申请号：KR1020100019129
申请日：2010-03-03
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01Q60/08 , G01B21/30 , G01Q80/00 , G01R1/06727 , H01J37/285
Abstract: 본 발명은 계측의 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 융합계측장치를 개시한다. 그의 장치는 기판 표면을 원자레벨 수준으로 계측하는 원자현미경과, 상기 원자현미경 및 상기 기판을 계측하는 전자현미경과, 상기 전자현미경으로 상기 원자현미경 및 상기 기판을 모니터링 할 때, 원자현미경의 캔틸레버에 가려지는 기판 상의 이차전자의 경로를 왜곡하여 전자현미경의 전자 검출기로 진행시키는 적어도 하나의 전극을 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100845005B1
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020060130408
申请日：2006-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N13/10
CPC classification number: G01Q10/065
Abstract: 본 발명은 고속 주사탐침현미경(Scanning Probe Microscopy)의 제어 방법에 관한 것으로 선택적으로 탐침 피드백 요소를 줄이고 탐침을 수평 이동시킴으로서 고속으로 이미징할 수 있는 고속 주사탐침현미경(Scanning Probe Microscopy)의 제어 방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 따른 고속 주사탐침현미경의 제어 방법은 탐침과 ; 탐침과 시편 사이의 거리에 따라서 변하는 신호인 피드백신호를 감지하는 검출기와 ; 탐침과 시편 사이의 거리를 일정하게 유지하는 피드백요소와, 상기 탐침 또는 시편을 이동시키는 스캐너를 포함하여 구성된 주사탐침현미경의 제어 방법에 있어서, 상기 탐침을 수평 이동시켜 시편의 표면을 스캐닝하되, 상기 탐침과 시편 사이의 거리가 피드백신호의 거리의존성이 미약하지만 잡음으로부터 분리할 수 있는 정도의 미리 정한 최대작동거리와 탐침이 시편과 부딪히는 것을 방지하기 위해서 미리 설정한 최소작동거리 사이의 고속모드작동거리 안에 속하는지를 상기 피드백신호를 통하여 판단하고, 고속모드작동거리에 속하는 경우 즉시 피드백요소를 제거하여 일정하게 탐침의 높이를 유지하는 상태로 탐침을 수평 이동하면서 시편의 표면굴곡을 고속으로 감지함을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상기 시편의 표면을 감지 과정에서 시편의 표면에 상기 고속모드작동거리를 벗어나는 경우 피드백 요소를 즉시 회복하여 기존의 주사탐침현미경과 같이 표면을 감지함을 특징으로 한다.
고속 주사탐침현미경, 피드백요소, 고속모드작동거리, 최소작동거리, 최대작동거리-
公开(公告)号：KR1020060122377A
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：KR1020050044794
申请日：2005-05-27
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y40/00 , C01B2202/02 , C01B2202/04 , C01B2202/06 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2329/00 , H01J2329/0455
Abstract: A field emission display having a carbon nano tube emitter and a manufacturing method thereof are provided to improve uniformity of luminance by maximizing electron emission efficiency of a carbon nano tube. A lower substrate(101) is prepared. A cathode electrode(102) is formed on the lower substrate. A carbon nano tube emitter(103) is provided on the cathode electrode. A gate dielectric(104) is formed to surround the carbon nano tube emitter. A gate electrode(105) is formed on the gate dielectric. A whole surface plate(107) is provided to cover the gate electrode from an upper portion thereof at a certain space by the gate electrode and a spacer(106). An anode electrode(108) is formed under the whole surface plate to be faced to the gate electrode. A phosphor layer(109), which emits a light by electrons irradiated from the carbon nano tube, is formed on the anode electrode.
Abstract translation: 提供具有碳纳米管发射体的场发射显示器及其制造方法，以通过使碳纳米管的电子发射效率最大化来提高亮度的均匀性。 制备下基板（101）。 阴极电极（102）形成在下基板上。 碳纳米管发射体（103）设置在阴极上。 形成栅电介质（104）以围绕碳纳米管发射体。 栅极电极（105）形成在栅极电介质上。 提供整个表面板（107）以通过栅电极和间隔件（106）在一定空间从其上部覆盖栅电极。 阳极电极（108）形成在整个表面板下面以面对栅电极。 在阳极上形成由碳纳米管照射的电子发射光的荧光体层（109）。
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公开(公告)号：KR1020060009563A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：KR1020040058197
申请日：2004-07-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 나노프로브(nano-probe)를 이용하여 기판 위에 있는 나노구조물(nano-structure)을 이동시키는 방법에 관한 것으로서, 특히 나노프로브와 나노구조물 사이에 작용하는 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 신속하고 정확하며 단 한차례의 작업으로 손쉽게 나노구조물을 목표 지점으로 이동시킬 수 있는 나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 이동 방법은 상기 나노프로브에 전압을 인가하는 단계와, 상기 전압이 인가된 나노프로브를 상기 나노구조물 근방으로 이동시켜 상기 나노프로브에 나노구조물을 부착시키는 단계와, 상기 나노구조물이 부착된 나노프로브를 상기 기판 위의 목표 지점으로 이동시키는 단계와, 상기 목표 지점에서 상기 나노프로브에 인가된 전압을 끊어 상기 나노프로브에 부착된 나노구조물을 탈리시키는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 通过使用静电力（静电力）之间作用很快本发明涉及一种方法，用于使用纳米探针（纳米探针）在上基板移动所述纳米结构（纳米结构），尤其是纳米探针和纳米结构 准确和涉及使用纳米探针可以容易地移动纳米结构到目标点到仅一次工作移动纳米结构的方法。 其中连接根据本发明的通过移动到纳米探针的施加电压来移动过程中的纳米结构，在纳米结构包括在所述纳米探针安装的纳米结构的步骤的附近施加至纳米探针上的电压， 在纳米探针移动到目标点的步骤在所述基底和所述目标点包括的切断施加至纳米探针帐簿纳米结构附着于纳米探针上的电压的步骤。
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公开(公告)号：KR1020160078534A
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：KR1020140187700
申请日：2014-12-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01Q60/24
CPC classification number: G01Q60/32 , G01Q20/02 , G01Q30/02 , G01Q30/18 , G01Q60/38 , G01Q60/24 , G01Q60/00 , G01Q60/34 , Y10S977/852
Abstract: 본발명의목적은원자간력현미경(AFM)의헤드구조를최적화함으로써, 중량및 부피최소화와구조적안정성향상을실현하는원자간력현미경용일체형헤드를제공함에있다. 본발명의다른목적은, 이러한일체형헤드를장착함으로써동적특성이향상되어고속헤드스캔이가능해서대면적샘플이미징에활용할수 있는헤드일체형원자간력현미경을제공함에있다. 본발명의또다른목적은, 이처럼동적특성이향상된헤드일체형원자간력현미경과전자현미경또는광학현미경을융합함으로써, 고속위치탐색및 이미징이가능함과동시에관심영역에서는원자상수준까지의 3차원형상의정밀관찰이가능하도록하는, 헤드일체형원자간력현미경을포함한융합현미경을제공함에있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种具有最小重量和体积的原子力显微镜（AFM）的集成头，以及通过优化AFM的头部结构来提高结构稳定性。 本发明的另一个目的是提供一种头部集成的AFM，其具有安装在其上的上述集成头，具有改善的动态特性，使得能够进行高速头扫描，并且AFM能够用于宽 - 样品成像。 本发明的另一个目的是提供一种包括头部集成的AFM的融合显微镜。 融合显微镜是具有改进的动态特性的上述头部集成AFM和电子显微镜或光学显微镜的组合，使得高速位置搜索和成像以及兴趣区域中的3D形状的详细观察 原子级别是可能的。 用于AFM的集成头部包括：测量单元（110），其形成为沿纵向从其一侧延伸到另一侧的板，其中具有第一反射镜（211）的第一反射镜安装座（111）和 具有第二反射镜（212）的第二反射镜安装座（112）在纵向方向上从一侧到另一侧彼此预定距离地连续地放置和固定，并且具有尖端（115） 215），其具有探针并且形成为沿着从第一反射镜安装件（111）放置的长度方向延伸并且沿高度方向和宽度方向固定的板，并且所述尖端（215）的下部具有： 一个空的空间; 源单元（120），其形成为连接到所述测量单元（110）的一侧的块，所述块在长度方向上具有贯通路径（125），所述通孔设置有透镜（225），所述透镜 侧具有固定光源单元（220）; 以及感测单元（130），其形成为连接到所述测量单元（110）的另一侧的块，所述测量单元（110）的另一侧具有容纳所述位置敏感光电检测器（PSPD）（230）的纵向方向上的容纳路径（135），并且 迷恋。
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公开(公告)号：KR100996227B1
公开(公告)日：2010-11-23
申请号：KR1020080075397
申请日：2008-08-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01Q70/12
Abstract: 본 발명은 SPM 나노탐침 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침에 있어서, 상기 탐침은 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)에 의해 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 한 구조를 포함하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1.5 내지 8.5 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침에 관한 것으로, 본 발명의 SPM 나노탐침은 나노니들의 선단부에 형성되는 구형의 증착물의 직경 및 나노니들의 단면직경과 상기 구형의 증착물의 직경의 비를 임의적으로 조절하여 굴곡이 심한 표면 또는 패턴에서 표면, 바닥, 및 측벽의 형상 그리고 마찰력 및 접착력을 보다 안전하고 정밀하게 측정할 수 있다.
SPM 나노탐침, 나노니들, 증착물, 입자빔 유도증착
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