公开(公告)号：KR102231035B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020190118073A

申请日：2019-09-25

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박인용 ,  황준혁 ,  타카시 오가와 ,  김광일 ,  조복래

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 본 발명은 지연 에너지 분석기에 관한 것으로, 입사되는 하전 입자 빔을 굴절시키는 정전 렌즈, 상기 정전 렌즈에서 굴절된 하전 입자 빔의 초점이 내부에 만들어지고, 내부에 전위를 발생시켜 입사된 하전 입자 빔의 에너지를 감소시키며, 내부에 발생된 전위보다 에너지가 큰 하전 입자만 통과시키는 지연 전극, 및 상기 지연 전극을 통과한 하전 입자가 도달되어 하전 입자 빔의 에너지 분포를 측정하는 수집기를 포함하여 빔과 전극의 충돌을 최소화 시켰으며, 이를 통해 내구성과 측정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：WO2021060634A1

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：PCT/KR2020/003086

申请日：2020-03-04

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박인용 ,  황준혁 ,  오가와타카시 ,  김광일 ,  조복래

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 본 발명은 지연 에너지 분석기에 관한 것으로, 입사되는 하전 입자 빔을 굴절시키는 정전 렌즈, 상기 정전 렌즈에서 굴절된 하전 입자 빔의 초점이 내부에 만들어지고, 내부에 전위를 발생시켜 입사된 하전 입자 빔의 에너지를 감소시키며, 내부에 발생된 전위보다 에너지가 큰 하전 입자만 통과시키는 지연 전극, 및 상기 지연 전극을 통과한 하전 입자가 도달되어 하전 입자 빔의 에너지 분포를 측정하는 수집기를 포함하여 빔과 전극의 충돌을 최소화 시켰으며, 이를 통해 내구성과 측정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR102231035B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020190118073

申请日：2019-09-25

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박인용 ,  황준혁 ,  오가와타카시 ,  김광일 ,  조복래

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 본발명은지연에너지분석기에관한것으로, 입사되는하전입자빔을굴절시키는정전렌즈, 상기정전렌즈에서굴절된하전입자빔의초점이내부에만들어지고, 내부에전위를발생시켜입사된하전입자빔의에너지를감소시키며, 내부에발생된전위보다에너지가큰 하전입자만통과시키는지연전극, 및상기지연전극을통과한하전입자가도달되어하전입자빔의에너지분포를측정하는수집기를포함하여빔과전극의충돌을최소화시켰으며, 이를통해내구성과측정의신뢰성을향상시키는효과가있다.