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公开(公告)号：KR102231035B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190118073A
申请日：2019-09-25
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 본 발명은 지연 에너지 분석기에 관한 것으로, 입사되는 하전 입자 빔을 굴절시키는 정전 렌즈, 상기 정전 렌즈에서 굴절된 하전 입자 빔의 초점이 내부에 만들어지고, 내부에 전위를 발생시켜 입사된 하전 입자 빔의 에너지를 감소시키며, 내부에 발생된 전위보다 에너지가 큰 하전 입자만 통과시키는 지연 전극, 및 상기 지연 전극을 통과한 하전 입자가 도달되어 하전 입자 빔의 에너지 분포를 측정하는 수집기를 포함하여 빔과 전극의 충돌을 최소화 시켰으며, 이를 통해 내구성과 측정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2017014442A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：PCT/KR2016/007110
申请日：2016-07-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본 발명은 전자빔을 방출하는 전자빔 소스; 상기 전자빔 소스쪽에 구비되며, 상기 전자빔을 집속하여 주는 하나이상의 중간 집속렌즈, 및 최종 집속렌즈로서 시료쪽에 구비되며, 시료위에 집속되는 전자빔 스폿을 형성시키는 대물렌즈를 포함하는 집속렌즈군; 상기 전자빔 소스 및 집속렌즈군을 내부에 구비하며, 상기 전자빔 소스로부터 방출된 전자빔이 대물렌즈를 거쳐 시료에 조사되는 통로인 어퍼처를 구비하는 진공챔버; 상기 전자빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나 이상의 편향기; 및 관찰하려는 시료를 지지하는 시료 스테이지;를 포함하는 주사전자현미경에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括：用于照射电子束的电子束源; 包括至少一个中间聚光透镜的聚光透镜组，其设置成与电子束源相邻并且使电子束冷凝，并将物镜作为最终的聚光透镜设置在与样品相邻并形成电子 在样品上凝结的束斑; 真空室，其内部包括电子束源和聚光透镜组，并且具有作为从电子束源照射的电子束通过物镜照射到样品的通道的孔; 至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向; 以及用于支撑要观察的样品的样品台。
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公开(公告)号：WO2016024704A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/005337
申请日：2015-05-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자 현미경의 입자빔 제어 장치 및 방법에 관한 것으로, 보 다 상세하게는 하전입자 현미경내 하전입자빔을 제어함으로써, 시료 표면의 정보를 획득하기 위해 정전 방식 또는 자기 방식의 편향기(스캐너)에 의해 왜곡되는 동적 특성을 바로 잡아 원하는 위치에 하전입자빔을 조사 시킴으로써 측정된 시료표면의 이미지가 왜곡되는 것을 방지하고, 고속으로 이미지를 획득 할 수 있도록 하며, 원하는 형태로 시료 표면을 가공할 수 있도록 하는 하전 입자빔 제어 장치 및 이를 이용한 하전입자빔의 제어 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种带电粒子显微镜的粒子束控制装置和方法，更具体地，涉及一种带电粒子束控制装置和使用该粒子束控制装置的带电粒子束控制方法，该方法控制带电粒子内的带电粒子束 显微镜，以校正由静电方案或磁性方案的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，并将带电粒子束照射到期望的位置，以获取样本表面上的信息，从而防止样本表面的测量图像 不会变形，能够快速获取图像，并且能够以期望的形式处理样品表面。
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公开(公告)号：WO2015190723A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：PCT/KR2015/005287
申请日：2015-05-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본 발명은 하전입자 빔 현미경의 주사신호 제어방법에 관한 것으로, 보다 구 체적으로는 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나이상의 편향기; 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하는 스캔 프로파일을 생성하여 상기 편향기에 제 공하는 주사파형 발생기; 및 상기 편향기에서 실제로 출력되는 전류파형을 제어하 는 주사 파형 제어부;를 포함하는 하전입자 빔 현미경의 주사신호를 생성하는 방법으로서 상기 편향기로부터 기인하는 시료 표면의 왜곡된 영상을 개선할 수 있는 주사 신호의 제어 방법 및 이를 이용한 장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，更具体地，涉及一种用于控制能够改善由偏转器引起的样品表面上的失真图像的扫描信号的方法，以及 使用其的装置，产生带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，其中带电粒子束显微镜包括：用于控制和改变带电粒子束的照射方向的至少一个偏转器; 扫描波形发生器，用于产生用于控制带电粒子束的照射方向并将其提供给偏转器的扫描轮廓; 以及扫描波形控制单元，用于控制实际从偏转器输出的当前波形。
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公开(公告)号：WO2015005569A1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：PCT/KR2014/003552
申请日：2014-04-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26 , H01J37/147 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/08 , H01J2237/06341 , H01J2237/0656 , H01J2237/0802 , H01J2237/223 , H01J2237/24542
Abstract: 본 발명은 금속팁을 포함하는 입자빔 소스; 상기 입자빔 소스로부터 집속된 입자빔을 수신하고, 이로부터 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트; 상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하고 이를 광신호로 변환하는 형광스크린; 상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이터를 처리하여 영상화하며, 상기 마이크로채널 플레이트로부터 기인하는 잡음을 제거하기 위해 공간 영역(spatial domain)에서 구현되는 저주파 통과필터(low pass filter)를 포함하여 이루어지는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 이를 이용하여 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于获取粒子束放电图像的装置和使用该装置获取粒子束放电图像的方法，该装置包括：包括金属尖端的粒子束源; 微通道板，用于从粒子束源接收聚焦的粒子束并从其中排出二次电子; 用于接收从微通道板产生的二次电子并将二次电子转换成光信号的荧光屏; 用于收集从荧光屏放出的光学数据的图像采集装置; 以及用于将从图像采集装置获得的数据处理成图像的图像处理装置，该图像处理装置包括在空间域中实现的低通滤波器，以便去除由微通道板产生的噪声。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2021060634A1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：PCT/KR2020/003086
申请日：2020-03-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 본 발명은 지연 에너지 분석기에 관한 것으로, 입사되는 하전 입자 빔을 굴절시키는 정전 렌즈, 상기 정전 렌즈에서 굴절된 하전 입자 빔의 초점이 내부에 만들어지고, 내부에 전위를 발생시켜 입사된 하전 입자 빔의 에너지를 감소시키며, 내부에 발생된 전위보다 에너지가 큰 하전 입자만 통과시키는 지연 전극, 및 상기 지연 전극을 통과한 하전 입자가 도달되어 하전 입자 빔의 에너지 분포를 측정하는 수집기를 포함하여 빔과 전극의 충돌을 최소화 시켰으며, 이를 통해 내구성과 측정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2017164439A1
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：PCT/KR2016/002954
申请日：2016-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자선의 진로를 편향시키는 원통형 정전렌즈를 대칭으로 배열하고 그 사이에 에너지 선택 조리개(aperture)를 배치하여 중심 에너지 범위의 하전입자선을 선택하는 것이 가능한 하전입자선 장치에 관한 것으로, 모노크로미터 중앙 전극 및 상기 중앙전극을 중심으로 전방부와 후방부에 배열되는 복수 개의 전극이 절연을 통해 서로 고정되는 일체화 구조를 취하기 때문에, 전방부와 후방부에 각각의 렌즈를 별도로 마련하는 경우에 비해 광축에 대해 오프셋을 조정하는 기구가 간소해지는 장점을 가지며, 광학계의 대칭성에 의해 출사면에서 이차 수차가 상쇄된다.
Abstract translation:
本发明带电能够对称地设置在一个圆筒形静电透镜颗粒用于偏转线的过程和放置之间的能量选择孔（小孔）的选择在能量范围的中心的带电粒子束 由于整体式中心电极和布置在中心电极周围的前部和后部的多个电极通过绝缘彼此固定， 与分别设置各个透镜的情况相比，由于用于调整相对于光轴的偏移的机构的简单性，因此光学系统的对称性抵消了第二像差。
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公开(公告)号：WO2017082561A1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：PCT/KR2016/012340
申请日：2016-10-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26 , H01J37/141 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/26
Abstract: 본 발명은 전자빔 경로상에 광경로를 배치하면서도 자기장 렌즈 부위와 근접하여 시료가 위치할 수 있도록 자기장 생성위치를 조절할 수 있는 폴피스를 구비한 요크부를 배열하여 전자현미경의 분해능이 저하되지 않아 고분해능으로 관찰이 가능한 광-전자 융합현미경에 관한 것으로, 다양한 형태의 세미 인렌즈(Semi Inlens)를 사용하거나 혹은 폴피스 사이 공간에 광반사 거울을 배열하여 자기장 렌즈와 시료간 거리를 유지함으로써, 전자현미경 대물렌즈의 초점거리를 실질적으로 증가시키지 않아 전자현미경 영상의 고분해능을 획득하는 효과를 얻는다.
Abstract translation:
本发明是通过设置有极靴的磁轭，它可以控制磁场产生位置到样品位于同时将光路在电子束路径靠近场透镜部的设置部的电子显微镜 因为分辨率不降级可以通过高分辨率观察到的光涉及一种电子熔断器显微镜，各种类型的半透镜（半Inlens）使用，或空间光之间的极片通过设置在透镜和样品之间的反射镜磁场反射 通过保持该距离，电子显微镜物镜的焦距不会显着增加，并且获得获得电子显微镜图像的高分辨率的效果。
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公开(公告)号：WO2017069343A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：PCT/KR2016/000076
申请日：2016-01-06
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 전자총의 필라멘트블록(filament block) 또는 전자 점원의 중심축이 양극 및 집속렌즈의 중심축과 기계적으로 어긋나 있을 때 진공을 유지하기 위한 벨로우즈를 구비하지 않고도 용이하게 전자총의 필라멘트블록 또는 전자점원을 이동시킬 수 있도록 진공구조를 개선한 위치조절이 용이한 전자총과 이를 포함하는 전자현미경에 관한 것으로, 전자빔의 중심축을 베넬트 실린더와 마주보는 양극판 또는 전계방출 전자원 및 1차 양극과 나란히 배치된 2차 양극과 정렬시키기 위하여 전자빔 발생부를 둘러싸며 밀봉하는 벨로우즈를 설치하지 않고도 2중 오링 밀봉부 또는 자성유체 밀봉부 상의 상면 평판을 이동할 수 있어서 전자빔 정렬이 용이할 뿐 아니라 간소화된 구조와 조립 및 분해가 용이하며 재사용이 가능한 고무 오링을 사용하며, 스테인레스 강에 비해 초고진공유지에서 차이가 없으며 비투자율 값이 큰 연강을 챔버로 사용하여 뮤-메탈이나 퍼몰로이 등 전자빔 발생부를 둘러싸는 추가적인 구성을 설치하지 않고도 표유자계의 유입을 방지할 수 있어서 제조가 용이할 뿐 아니라 복잡한 구성을 채택하지 않아 경제적이다.
Abstract translation:
本发明是容易的，而不必在波纹管在中心轴移动并且机械中心轴是正电极和灯丝块（灯丝块）或电子枪电子店员的聚焦透镜时，保持真空 于易定位提高真空结构，以便电子枪涉及一种电子显微镜，包括与该电子枪中，电子束的轴斩波正极板或面向nelteu气缸中的场发射电子源的中心移动的长丝块或电子店员 和第一阱被移动到上的电子束产生部分的上表面板而无需安装波纹管以密封围绕两个O形环密封件或磁性流体密封部的，以便与由侧和阴极置于侧二次阳极对准的电子束对准更加容易 它采用橡胶O形圈，结构简单，便于组装和拆卸，可重复使用。 有一个在超高真空无差别保持相比于具有大的相对磁导率值的软钢到腔室μ型中，以防止金属或peomol罗伊如周围的表的入口的电子束发生部，而无需安装附加配置不锈钢柑橘系 由于不采用复杂的配置，因此制造容易且经济。
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公开(公告)号：WO2015083973A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/KR2014/011388
申请日：2014-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본 발명은 하전입자 빔을 방출하는 하전입자 소스, 상기 하전입자 소스쪽에 구비되며, 전기장 또는 자기장에 의해 상기 하전입자 빔을 집속하여 주는 하나이상의 중간 집속렌즈, 및 최종 집속렌즈로서 시료쪽에 구비되며, 시료위에 집속되는 빔 스폿인 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 대물렌즈를 포함하는 집속렌즈군, 상기 하전입자 소스 및 집속렌즈군을 내부에 구비하며, 상기 하전입자 소스로부터 방출된 하전입자 빔이 대물렌즈를 거쳐 시료에 조사되는 통로인 어퍼처를 구비하는 진공챔버, 상기 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나 이상의 편향기, 및 관찰 또는 가공하려는 시료를 지지하며, 상기 시료를 이동할 수 있는 시료 스테이지를 포함하는 하전입자 빔 프로브 형성 장치 및 이를 이용하여 시료를 관찰 또는 가공하는 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及带电粒子束探针形成装置和使用其的样品的观察或处理方法，该装置包括：用于发射带电粒子束的带电粒子源; 聚焦透镜组包括至少一个中间聚焦透镜，其设置在与带电粒子源相邻的位置处以通过电场或磁场聚焦带电粒子束，以及与样品相邻设置的物镜作为最终 聚焦透镜形成带电粒子束探针，其是聚焦在样品上的束斑; 包含带电粒子源和聚焦透镜组的真空室，其具有用作通道的孔，通过该通道使从带电粒子源发射的带电粒子束经由物镜瞄准样品; 至少一个偏转器，用于控制和改变带电粒子束的瞄准方向; 以及支持待观察或处理的样品并能够移动样品的样品台。
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