Abstract:
PURPOSE: A method for preparing a composite oxide of lithium and 13th group metal is provided which economically and simply provides LiMO2 type composite oxide film under low pressure. CONSTITUTION: The LiMO2 type composite oxide film of lithium and 13th group metal is prepared by contacting a vapor state alkylic acid alkyl hetero metal compound of lithium and 13th group metal represented by the following formula (I): LiOR'·(R'O)MR2 with a substrate. In the formula (I), M is aluminum or gallium, and each R and R' is a C1-10 alkyl group.
Abstract:
PURPOSE: A method is provided to deposit titanium dioxide using tertiary-butyric acid titanium. CONSTITUTION: The method comprises the process of contacting a gas produced by vaporizing tertiary-butyric acid titanium with a substrate which is maintained at a temperature ranging from 250 to 400 deg.C so that a titanium dioxide film is formed on the substrate by the thermo-chemical deposition.
Abstract:
본 발명은 하기 일반식 (I)의 리튬과 13 족 금속의 알킬산알킬헤테로금속 화합물을 사용하여 리튬과 13 족 금속의 LiMO 2 형 복합 산화물을 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 낮은 압력에서 간편하게 상기 복합 산화물을 얻을 수 있다.
LiOR'·(R'O)MR 2 (I)
상기 식에서, M은 Al 또는 Ga이고; R 및 R'은 각각 탄소수 1 내지 10 개의 알킬 기이다.
Abstract:
본 발명은 별도의 산소 공급물질을 사용하지 않고서 상온에서도 하기식의 알킬산디알킬알루미늄을 원료로 사용하여 화학증착에 의해 기질위에 산화알루미늄막을 형성하는 방법에 관한 것이다: R 1 2 AlOR 2 상기식에서 R 1 과 R 2 는 같거나 서로 다르며, 각각 C 1 -C 10 알킬이다.
Abstract:
본원 발명은 일반식 Mg〔(R 1 2 Al(OR 2 ) 2 〕 2 로 표현되는 알킬알루미늄알킬산마그네슘과 그의 제조 방법 및 이를 원료로 사용하여 알루민산마그네슘 막을 형성하는 방법에 대한 것이다. 알킬알루미늄알킬산마그네슘은 증기압이 높아 낮은 압력과 상온 정도의 온도에서 용이하게 기체 상태로 운반할 수 있으므로 화학증착법으로 반도체 기질 등에 알루민산마그네슘막을 형성시키기에 적합하다.
Abstract:
본 발명은 별도의 산소 공급물질을 사용하지 않고서 상온에서도 하기식의 알킬산디알킬알루미늄을 원료로 사용하여 화학증착에 의해 기질위에 산화알루미늄막을 형성하는 방법에 관한 것이다: R 1 2 AlOR 2 상기식에서 R 1 과 R 2 는 같거나 서로 다르며, 각각 C 1 -C 10 알킬이다.
Abstract:
본원 발명은 일반식 Mg[R 1 2 Al(OR 2 ) 2 ] 2 로 표현되는 알킬알루미늄알킬산마그네슘과 그의 제조 방법 및 이를 원료로 사용하여 알루민산마그네슘 막을 형성하는 방법에 대한 것이다. 알킬알루미늄알킬산마그네슘은 증기압이 높아 낮은 압력과 상온 정도의 온도에서 용이하게 기체 상태로 운반알 수 있으므로 화학증착법으로 반도체 기질 등에 알루민산마그네슘막을 형성시키기에 적합하다.
Abstract:
본 발명은 하기 화학식 1로 표현되는 2가 금속과 13족 금속의 알킬산알킬헤테로금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 원료로 사용하여 2가 금속과 13족 금속의 MM' 2 O 4 형 복합 산화물의 막을 제조하는 방법에 관한 것이다. [화학식 1] M[(μ-OR') 2 M'R 2 ] 2 이때, M은 Be, Mg, Zn 또는 Cd이고; M'은 Al 또는 Ga이며; R 및 R'은 탄소 원자 1개 내지 10개를 포함하는 알킬 기이다(단, M이 Mg일때에는 M'은 Al이 아니다).