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公开(公告)号:KR102260165B1
公开(公告)日:2021-06-03
申请号:KR1020190082938
申请日:2019-07-10
Applicant: 한국화학연구원
Inventor: 안기석 , 송우석 , 임종선 , 명성 , 정하균 , 이선숙 , 배가람
IPC: G01N27/12 , G01N33/00 , H01L29/786 , H01L29/40