KR102224235B1 - alcohol gas sensor

    公开(公告)号:KR102224235B1

    公开(公告)日:2021-03-08

    申请号:KR1020190122739A

    申请日:2019-10-04

    Abstract: 본 발명에 따른 알코올 가스 센서는 게이트 전극이 형성된 게이트 절연막 및 상기 게이트 절연막 일면에 형성되는 금속 산화물층; 금속 산화물층 상에 형성되며, 서로 이격 배치되는 소스전극 및 드레인전극; 및 금속 산화물층, 소스전극 및 드레인전극 상에 형성되는 실리콘계 고분자층;을 포함하되, 실리콘계 고분자층의 고분자가 하기 화학식 1 및 화학식 2의 구조단위를 포함한다.
    [화학식 1]

    [화학식 2]

    [상기 화학식 1 및 화학식 2에서,
    R
    1 은 C
    1 -C
    4 의 알킬이고;
    L은 2가의 연결기이고;
    R
    2 는 시아노이고;
    R
    3 은 C
    1 -C
    4 의 알킬이고;
    R
    4 는 C
    6 -C
    20 의 아릴이고,
    x와 y의 몰비는 1:9 내지 9:1이다.]

    금속 산화물/질화물/황화물 박막의 전사 방법 및 이에 사용되는 전사용 시트
    4.
    发明申请
    금속 산화물/질화물/황화물 박막의 전사 방법 및 이에 사용되는 전사용 시트 审中-公开
    用于转移金属氧化物/氮化物/硫化物薄膜的方法及其使用的转移片

    公开(公告)号:WO2013168968A1

    公开(公告)日:2013-11-14

    申请号:PCT/KR2013/003961

    申请日:2013-05-07

    CPC classification number: C23C16/403 C23C14/185 C23C16/01 C23C16/0281

    Abstract: 기재 상에 금속 산화물/질화물/황화물 박막을 형성하고 고분자 지지층을 형성한 뒤 기재를 제거하여 수득하는 전사용 시트는, 원하는 다른 기재 상에 접착한 뒤 고분자 지지층을 제거함으로써 금속 산화물/질화물/황화물 박막을 전사 하는데 유용하게 사용될 수 있으며, 이와 같이 전사된 금속 산화물/질화물/황화물 박막은 원하는 두께로 형성될 수 있어서, 그래핀 전극 등을 사용하는 다양한 전자 소자의 제조를 보다 용이하게 할 수 있다.

    Abstract translation: 通过在基板上形成金属氧化物/氮化物/硫化物薄膜,形成聚合物支撑层和除去基板而获得的转印片材可用于通过粘附到另一所需的材料上来转移金属氧化物/氮化物/硫化物薄膜 并除去聚合物支撑层。 由此转移的金属氧化物/氮化物/硫化物薄膜可以形成所需的厚度,从而便于使用石墨烯电极等制备各种电子器件。

    박리 기법을 이용한 그래핀 패턴 형성 방법 및 그 장치

    公开(公告)号:WO2012157894A3

    公开(公告)日:2012-11-22

    申请号:PCT/KR2012/003687

    申请日:2012-05-10

    Abstract: 본 발명은 고분자 스템프를 이용하는 박리 기법을 이용하여 목표로 하는 임의의 패턴을 갖는 그래핀 패턴을 형성하는데 적합한 박리 기법을 이용한 그래핀 패턴 형성 기법에 관한 것이다. 본 발명은 고분자 스템프를 이용하여 기판 상에 형성된 그래핀층의 일부를 물리적으로 선택 박리시킴으로써, 기판 상에 균일한 선폭을 갖는 원하는 형태의 그래핀 패턴을 간단하고 손쉽게 제작할 수 있으며, 또한 회전체 스템프를 이용하는 롤투롤 방식 또는 대면적 스템프를 이용하는 방식으로 기판 상에 형성된 그래핀층의 일부를 물리적으로 선택 박리시킴으로써, 대면적의 기판 상에 균일한 선폭을 갖는 원하는 형태의 그래핀 패턴을 간단하고 손쉽게 제작할 수 있다.

    아연주석산화물 박막의 제조방법
    7.
    发明申请
    아연주석산화물 박막의 제조방법 审中-公开
    制备氧化锌薄膜的方法

    公开(公告)号:WO2013118937A1

    公开(公告)日:2013-08-15

    申请号:PCT/KR2012/002054

    申请日:2012-03-22

    CPC classification number: H01L21/02554 H01L21/02565 H01L21/0262 H01L29/7869

    Abstract: 본 발명은 아연 및 주석 전구체를 사용하여 화학 기상 증착법(chemcal vapor deposition, CVD) 또는 원자층 증착법(atomic layer deposition, ALD)으로 아연주석 산화물 박막을 형성하는 방법 및 이를 이용한 TFT(thin film transistors) 소자 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 아연주석 산화물 박막의 제조방법은 주석과 아연의 조성제어가 가능하며, 낮은 온도에서 공정이 가능하며, 삼차원 구조의 기재 상에서도 두께가 균일한 박막을 제조할 수 있고 제조된 주석 산화물은 높은 전계 효과 이동도(field effect mobility)를 가지고 있어 TFTs의 채널재료로 적용할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)形成使用锌和锡前体的氧化锌锡薄膜的方法,以及制造薄膜晶体管(TFT)的方法, 元素使用该方法。 根据本发明的制造锌锡氧化物薄膜的方法能够在低温下控制和加工锡锌组合物。 根据本发明的方法,可以制造具有均匀厚度的薄膜,即使在具有三维结构的基底上。 这样制造的氧化锡具有高的场效应迁移率,并且可以用作TFT通道的材料。

    산화그래핀 제조방법
    8.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2019198985A2

    公开(公告)日:2019-10-17

    申请号:PCT/KR2019/004056

    申请日:2019-04-05

    Abstract: 본 발명은 흑연과 금속 탄산염을 혼합하여 열처리하는 단계를 포함하는 산화그래핀 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 산화그래핀 제조방법은 강산을 이용하지 않으면서도 단시간 내에 산화그래핀을 제조할 수 있는 장점이 있다. 또한, 종래 Hummer's method를 제외한 산화그래핀의 제조에서 찾아보기 어려웠던 단층 산화그래핀을 제조할 수 있는 장점이 있으며, 나아가, 1차적으로 생성된 산화물에 포함되는 생성물은 금속 이온을 포함하여, 불순물의 세정이 쉬운 장점이 있다.

Patent Agency Ranking