公开(公告)号：WO2020009413A2

公开(公告)日：2020-01-09

申请号：PCT/KR2019/008023

申请日：2019-07-02

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이정오 ,  이건희 ,  채수상 ,  정두원 ,  최민 ,  장현주

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  G01N27/04

公开(公告)号：KR102128427B1

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：KR1020180076430

申请日：2018-07-02

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이정오 ,  이건희 ,  채수상 ,  정두원 ,  최민 ,  장현주

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  G01N27/04

公开(公告)号：KR102200350B1

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：KR1020200061873

申请日：2020-05-22

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이정오 ,  이건희 ,  채수상 ,  정두원 ,  최민 ,  장현주

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  G01N27/04

Abstract: 본발명은반도체소자및 이를포함하는센서에관한것이다. 보다상세하게는기재; 및상기기재의적어도일면의전부또는일부에배치된반도체박막을포함하며, 상기반도체박막은표면에일 방향으로스크래치가형성되어있고, 상기반도체박막은전부또는일부에일 방향으로형성된나노리본구조를포함하는반도체소자및 이를포함하는센서에관한것으로, 상기반도체소자는간단한공정을통해제조할수 있으며, 상기반도체소자를포함하는센서는감도가우수하고작동온도가낮아져소비전력이감소될수 있다.