-
公开(公告)号：WO2021015517A1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：PCT/KR2020/009536
申请日：2020-07-20
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 두께 측정 장치는 전자기파를 시편 방향으로 조사하는 방출부, 상기 시편이 위치하는 방향에서부터 출력되는 전자기파를 수신하는 수신부 및 상기 수신부로부터 신호를 받아 상기 시편의 두께를 산출하는 제어부를 포함하고, 상기 시편이 제1 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제1 전자기파를 수신하고, 상기 시편이 제2 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제2 전자기파를 수신하고, 상기 제1 전자기파는 제1 시점에서 제1 피크값을 가지고, 상기 제2 전자기파는 제2 시점에서 제2 피크값을 가지고, 상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 큰 경우, 상기 제1 피크값은 상기 제2 피크값보다 작은 값이다.
-
公开(公告)号：WO2023075349A1
公开(公告)日：2023-05-04
申请号：PCT/KR2022/016322
申请日：2022-10-25
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01J37/32 , G01N21/3581
Abstract: 테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치가 제공된다. 상기 테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치는, 내부에 웨이퍼가 인입되어 있는 플라즈마 챔버의 외측에 상기 웨이퍼의 폭 방향과 평행한 방향으로 배치되며, 테라헤르츠파를 이용하여, 상기 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 플라즈마 공정 시 상기 플라즈마 챔버의 내부에 형성되는 플라즈마를 모니터링하는 제1 모니터링 모듈; 및 상기 웨이퍼를 향하도록 상기 플라즈마 챔버의 외측에 상기 웨이퍼의 두께 방향으로 배치되며, 상기 테라헤르츠파를 이용하여, 상기 플라즈마 공정을 통하여 표면에 막이 형성되는 상기 웨이퍼를 모니터링하는 제2 모니터링 모듈을 포함할 수 있다.
-
公开(公告)号：WO2020045852A1
公开(公告)日：2020-03-05
申请号：PCT/KR2019/010184
申请日：2019-08-12
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: G01B15/02 , G06F17/10 , G01N21/3581
Abstract: 실시 예에 따른 시편 두께 측정 방법은 비접촉 및 비파괴 방식으로 다층을 가지는 시편에 대한 두께를 측정할 수 있다. 또한, 각 층을 구성하는 물질에 대한 굴절률을 미리 알고 있는 경우, 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 반사 시간 차이를 통해 각 층의 두께를 일체로 측정할 수 있어, 상기 시편의 두께를 측정하는 시간을 단축할 수 있다. 또한 각 층을 구성하는 물질에 대한 굴절률을 모르는 경우, 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 투과 시간 차이 및 반사 시간 차이를 통해 각 층의 굴절률을 측정할 수 있고, 이와 동시에 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 투과 시간 차이 또는 반사 시간 차이를 통해 각 층의 두께도 측정하여, 다양한 시편들에 대한 두께를 측정할 수 있는 점에서 높은 활용도를 갖는 효과가 있다.
-
公开(公告)号：WO2018182360A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：PCT/KR2018/003783
申请日：2018-03-30
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 두께 측정 장치가 제공된다. 상기 두께 측정 장치는, 반사 모드 및 투과 모드 중 적어도 하나의 모드에 따른 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 신호 처리부, 상기 제1 반사 테라헤르츠파와 상기 제2 반사 테라헤르츠파 간의 제2 시간 차이 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 굴절율 정보를 획득하는 굴절율 정보 획득부, 및 상기 굴절율 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 두께 정보를 획득하는 두께 정보 획득부를 포함할 수 있다.
-
公开(公告)号：WO2020071716A1
公开(公告)日：2020-04-09
申请号：PCT/KR2019/012782
申请日：2019-10-01
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: G01N21/3581 , C03C17/23
Abstract: 시편 검사 장치에 대한 일 실시 예에 따르면, 상기 시편 검사 장치는 방출부, 반사부, 초점 조정부, 수신부, 및 제어부로 구성될 수 있다. 상기 시편 검사 장치는 테라헤르츠 파를 조사하는 방출부; 상기 방출부에서 조사된 테라헤르츠 파의 경로를 변환시키는 반사부; 상기 테라헤르츠 파의 경로에 따라 시편에 조사 영역을 형성하게 하는 초점 조정부; 상기 제1 영역에 조사된 상기 테라헤르츠 파가 상기 시편에서 각각 반사된 테라헤르츠 파를 수신하는 수신부; 및 상기 복수의 구성 중 적어도 두 개의 구성 사이의 거리를 제어하고, 상기 테라헤르츠 파의 반사도 차이에 따른 상기 시편의 불량 여부를 검출하는 제어부로 구성될 수 있다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2019199018A1
公开(公告)日：2019-10-17
申请号：PCT/KR2019/004202
申请日：2019-04-09
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: G01N21/3581
Abstract: 본 발명의 일 실시 예에 따른 테라헤르츠파 기반 검출기는 테라헤르츠파를 발생시키는 테라헤르츠파 방출부, 상기 테라헤르츠파 방출부에서 발생된 테라헤르츠파를 길이 방향을 따라서, 측정 대상체로 가이드하는 가이드 와이어 및 상기 가이드 와이어를 상기 가이드 와이어 폭 방향으로 진동시키는 진동부를 포함하여 이루어질 수 있다.
-
公开(公告)号：KR102129678B1
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：KR1020180117858
申请日：2018-10-02
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: G01N21/3581 , C03C17/23
-
-
公开(公告)号：KR102091320B1
公开(公告)日：2020-03-19
申请号：KR1020180042311
申请日：2018-04-11
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: G01N21/3581 , G01N21/88
-
公开(公告)号：KR102075356B1
公开(公告)日：2020-02-10
申请号：KR1020180100703
申请日：2018-08-27
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: G01B15/02 , G06F17/10 , G01N21/3581
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.019 seconds)
