두께 측정 장치, 두께 측정 방법 및 두께 측정 프로그램

    公开(公告)号:WO2018182360A1

    公开(公告)日:2018-10-04

    申请号:PCT/KR2018/003783

    申请日:2018-03-30

    CPC classification number: G01B15/02 G06F17/10

    Abstract: 두께 측정 장치가 제공된다. 상기 두께 측정 장치는, 반사 모드 및 투과 모드 중 적어도 하나의 모드에 따른 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 신호 처리부, 상기 제1 반사 테라헤르츠파와 상기 제2 반사 테라헤르츠파 간의 제2 시간 차이 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 굴절율 정보를 획득하는 굴절율 정보 획득부, 및 상기 굴절율 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 두께 정보를 획득하는 두께 정보 획득부를 포함할 수 있다.

    증착 장비 및 증착 방법
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101906670B1

    公开(公告)日:2018-12-05

    申请号:KR1020160119268

    申请日:2016-09-19

    Abstract: 증착 장비 및 증착 방법이 제공된다. 상기 증착 장비는, 챔버, 상기 챔버 내에 배치되는 제1 광원, 제2 광원, 및 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원 상에 배치되는 리플렉터를 포함한다. 상기 증착 장비를 이용한 상기 증착 방법은, 제1 광을 조사하는 상기 제1 광원, 및 상기 제1 광과 다른 파장 대역을 갖는 제2 광을 조사하는 상기 제2 광원을 포함하는 상기 챔버 내에 기판을 준비하는 단계, 및 상기 챔버 내에 소스 가스를 공급하여, 상기 기판상에 물질막(material layer)을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 챔버 내에 상기 소스 가스가 공급되는 동안, 또는 상기 물질막이 형성된 후, 상기 기판으로 상기 제1 광 또는 상기 제2 광을 선택적으로 조사하는 것을 포함한다.

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