Patent search ap:("한양대학교 산학협력단") AND inv:"박영은" Page 1

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发明申请
분자선 구조를 갖는 다층 분자막 포토레지스트 및 이의 제조방법 审中-公开

公开(公告)号：WO2023018308A1

公开(公告)日：2023-02-16

申请号：PCT/KR2022/012143

申请日：2022-08-12

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 성명모 , 안진호 , 박영은 , 지현석 , 이재혁

IPC: G03F7/09 , G03F7/004 , G03F7/16 , G03F7/11

Abstract: 다층 분자막 포토레지스트가 제공된다. 상기 다층 분자막 포토레지스트는 기판의 상부방향으로 각각 연장되고 횡방향으로 다수개 배치된 분자선들을 구비한다. 각 분자선은 다수의 무기 단분자들과 상기 무기 단분자들 중 적어도 일부의 무기 단분자들 사이에 개재된 유기 단분자가 결합에 의해 연결된 것이다.

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