公开(公告)号：KR101524930B1

公开(公告)日：2015-06-01

申请号：KR1020130109563

申请日：2013-09-12

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  김민수 ,  강봉균 ,  김현준 ,  박승용 ,  김아라

IPC: C11D7/06 ,  C11D7/26 ,  H01L21/302

Abstract: 본발명은질화갈륨기판용세정용액및 이를이용한질화갈륨기판세정방법에관한것으로서더욱상세하게는질화갈륨기판의양측표면중 층전이공정을위해다른기판과접합되는접합면인 N 표면의표면조도증가를최소화함과동시에표면에흡착되어있는파티클을용이하게제거할수 있는질화갈륨기판의 N 표면용세정용액및 이를이용한질화갈륨기판의 N 표면세정방법에관한것이다. 이를위해, 본발명은, 다른기판과의접합면이되는질화갈륨기판의 N 표면을세정하는세정용액에있어서, 염기성수용액및 유기첨가제를포함하는것을특징으로하는질화갈륨기판의 N 표면세정용액및 이를이용한질화갈륨기판의 N 표면세정방법을제공한다.

公开(公告)号：KR1020150030388A

公开(公告)日：2015-03-20

申请号：KR1020130109563

申请日：2013-09-12

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박진구 ,  김민수 ,  강봉균 ,  김현준 ,  박승용 ,  김아라

IPC: C11D7/06 ,  C11D7/26 ,  H01L21/302

CPC classification number: C11D7/06 ,  C11D7/26 ,  H01L21/302 ,  H01L21/304

Abstract: 본 발명은 질화갈륨 기판용 세정용액 및 이를 이용한 질화갈륨 기판 세정방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 질화갈륨 기판의 양측 표면 중 층 전이 공정을 위해 다른 기판과 접합되는 접합면인 N 표면의 표면조도 증가를 최소화함과 동시에 표면에 흡착되어 있는 파티클을 용이하게 제거할 수 있는 질화갈륨 기판의 N 표면용 세정용액 및 이를 이용한 질화갈륨 기판의 N 표면 세정방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 다른 기판과의 접합면이 되는 질화갈륨 기판의 N 표면을 세정하는 세정용액에 있어서, 염기성 수용액 및 유기 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화갈륨 기판의 N 표면 세정용액 및 이를 이용한 질화갈륨 기판의 N 표면 세정방법을 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于氮化镓衬底的洗涤溶液以及使用其的氮化镓衬底的洗涤方法，更具体地说，涉及一种用于氮化镓衬底的洗涤液，其可以最小化表面轮廓的增加 N表面，其是与氮化镓衬底的两个侧表面的层过渡过程的另一个衬底接触的另一个衬底，并且可以容易地去除附着在表面上的颗粒，以及使用其进行氮化镓衬底的洗涤的方法。 为此，用于洗涤氮化镓衬底的N表面的洗涤溶液包括碱溶液和有机添加剂。