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公开(公告)号：KR1020160127242A
公开(公告)日：2016-11-03
申请号：KR1020150057870
申请日：2015-04-24
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: H01L21/027 , G03F1/66 , H01L21/033 , G03F7/20
Abstract: 노광방법이제공된다. 상기노광방법은, 노광장치내에서, 마스크및 상기마스크덮는펠리클을이용하여노광공정을수행하는단계, 상기노광공정중에발생된열에의해, 상기마스크및 상기펠리클이변형되는경우, 상기마스크및 상기펠리클의변형정도를측정하는단계, 및상기마스크및 상기펠리클의변형정도에따라서, 상기마스크및 상기펠리클을교정하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150030388A
公开(公告)日：2015-03-20
申请号：KR1020130109563
申请日：2013-09-12
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: C11D7/06 , C11D7/26 , H01L21/302
CPC classification number: C11D7/06 , C11D7/26 , H01L21/302 , H01L21/304
Abstract: 본 발명은 질화갈륨 기판용 세정용액 및 이를 이용한 질화갈륨 기판 세정방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 질화갈륨 기판의 양측 표면 중 층 전이 공정을 위해 다른 기판과 접합되는 접합면인 N 표면의 표면조도 증가를 최소화함과 동시에 표면에 흡착되어 있는 파티클을 용이하게 제거할 수 있는 질화갈륨 기판의 N 표면용 세정용액 및 이를 이용한 질화갈륨 기판의 N 표면 세정방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 다른 기판과의 접합면이 되는 질화갈륨 기판의 N 표면을 세정하는 세정용액에 있어서, 염기성 수용액 및 유기 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화갈륨 기판의 N 표면 세정용액 및 이를 이용한 질화갈륨 기판의 N 표면 세정방법을 제공한다.Abstract translation: 本发明涉及一种用于氮化镓衬底的洗涤溶液以及使用其的氮化镓衬底的洗涤方法，更具体地说，涉及一种用于氮化镓衬底的洗涤液，其可以最小化表面轮廓的增加 N表面，其是与氮化镓衬底的两个侧表面的层过渡过程的另一个衬底接触的另一个衬底，并且可以容易地去除附着在表面上的颗粒，以及使用其进行氮化镓衬底的洗涤的方法。 为此，用于洗涤氮化镓衬底的N表面的洗涤溶液包括碱溶液和有机添加剂。
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公开(公告)号：KR1020170088734A
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：KR1020160054850
申请日：2016-05-03
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: B82B3/00 , B82Y30/00 , H01L31/0216 , H01L31/0392 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 금속을포함하는제1 용액을용매에첨가한후, 물리적혼합화(mechanical mixing)하여베이스용액(base solution)을제조하는단계, 및상기베이스용액에 pH 조절제(pH control agent)를첨가한후, 물리적혼합화하여금속원소가응집된금속나노클러스터(metal nanocluster)를제조하는단계를포함하되, 상기 pH 조절제가첨가된상기베이스용액의 pH에따라, 상기금속나노클러스터에포함된금속원소의개수가조절되는것을포함하는금속나노클러스터의제조방법이제공될수 있다.
Abstract translation: 加入含有在溶剂中的金属，接着通过添加pH调节剂的第一溶液（pH调节剂），以物理的加扰（机械混合）制备碱溶液（碱溶液）的步骤，和碱溶液后， 包括制备物理扰由金属纳米团簇（金属纳米簇）附聚的金属元素，在根据与所述pH调节剂的碱溶液的pH的步骤中加入，包含在金属纳米团簇的金属元素的数目 提供了包括上述方法的用于制造金属纳米簇的方法。
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公开(公告)号：KR101746951B1
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020150142261
申请日：2015-10-12
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: Y02E10/542
Abstract: 코발트계시아노젠(cyanogen)염을포함하는제1 용액(first solution)을제조하는단계, 코발트계아세트산(acetic acid)염을포함하는제2 용액(second solution)을제조하는단계, 상기제1 용액상에상기제2 용액을점적하여코발트기반프러시안블루애널로그(cobalt-based prussian blue analogue)를제조하는단계, 및상기코발트기반프러시안블루애널로그를 150~350℃의온도로열처리(thermal treatment)하여코발트황화물을제조하는단계를포함하는 MOF(Metal Organic Framework) 기반의코발트황화물의제조방법이제공될수 있다.
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Patent Agency Ranking6.发明公开MOF(Metal Organic Framework) 기반의 코발트 황화물의 제조 방법, 및 이를 이용한 염료감응형 태양전지 有权基于MOF（金属有机框架）生产硫化钴的方法和使用其的染料敏化太阳能电池
公开(公告)号：KR1020170043138A
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：KR1020150142261
申请日：2015-10-12
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: Y02E10/542
Abstract: 코발트계시아노젠(cyanogen)염을포함하는제1 용액(first solution)을제조하는단계, 코발트계아세트산(acetic acid)염을포함하는제2 용액(second solution)을제조하는단계, 상기제1 용액상에상기제2 용액을점적하여코발트기반프러시안블루애널로그(cobalt-based prussian blue analogue)를제조하는단계, 및상기코발트기반프러시안블루애널로그를 150~350℃의온도로열처리(thermal treatment)하여코발트황화물을제조하는단계를포함하는 MOF(Metal Organic Framework) 기반의코발트황화물의제조방법이제공될수 있다.
Abstract translation: 制备包含钴基氰盐的第一溶液，制备包含钴基乙酸盐的第二溶液， 通过将所述第二溶液滴加到所述钴基普鲁士蓝类似物上，并将所述钴基普鲁士蓝分析物加热至150-350℃的温度来制备钴基普鲁士蓝类似物， ）为了生产硫化钴，可以提供基于金属有机骨架（MOF）的硫化钴生产方法。
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公开(公告)号：KR101906666B1
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：KR1020160054850
申请日：2016-05-03
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: B82B3/00 , B82Y30/00 , H01L31/0216 , H01L31/0392 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 금속을포함하는제1 용액을용매에첨가한후, 물리적혼합화(mechanical mixing)하여베이스용액(base solution)을제조하는단계, 및상기베이스용액에 pH 조절제(pH control agent)를첨가한후, 물리적혼합화하여금속원소가응집된금속나노클러스터(metal nanocluster)를제조하는단계를포함하되, 상기 pH 조절제가첨가된상기베이스용액의 pH에따라, 상기금속나노클러스터에포함된금속원소의개수가조절되는것을포함하는금속나노클러스터의제조방법이제공될수 있다.
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公开(公告)号：KR101524930B1
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：KR1020130109563
申请日：2013-09-12
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: C11D7/06 , C11D7/26 , H01L21/302
Abstract: 본발명은질화갈륨기판용세정용액및 이를이용한질화갈륨기판세정방법에관한것으로서더욱상세하게는질화갈륨기판의양측표면중 층전이공정을위해다른기판과접합되는접합면인 N 표면의표면조도증가를최소화함과동시에표면에흡착되어있는파티클을용이하게제거할수 있는질화갈륨기판의 N 표면용세정용액및 이를이용한질화갈륨기판의 N 표면세정방법에관한것이다. 이를위해, 본발명은, 다른기판과의접합면이되는질화갈륨기판의 N 표면을세정하는세정용액에있어서, 염기성수용액및 유기첨가제를포함하는것을특징으로하는질화갈륨기판의 N 표면세정용액및 이를이용한질화갈륨기판의 N 표면세정방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101690869B1
公开(公告)日：2017-01-10
申请号：KR1020150057870
申请日：2015-04-24
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: H01L21/027 , G03F1/66 , H01L21/033 , G03F7/20
Abstract: 노광방법이제공된다. 상기노광방법은, 노광장치내에서, 마스크및 상기마스크덮는펠리클을이용하여노광공정을수행하는단계, 상기노광공정중에발생된열에의해, 상기마스크및 상기펠리클이변형되는경우, 상기마스크및 상기펠리클의변형정도를측정하는단계, 및상기마스크및 상기펠리클의변형정도에따라서, 상기마스크및 상기펠리클을교정하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101624078B1
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：KR1020150057962
申请日：2015-04-24
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: G03F1/62
CPC classification number: G03F1/62
Abstract: 펠리클이제공된다. 상기펠리클은, 제1 면및 상기제1 면에대향하는제2 면을갖는멤브레인(membrane), 상기멤브레인의제1 면상의제1 펠리클프레임(first pellicle frame), 및상기멤브레인의상기제2 면상의제2 펠리클프레임(second pellicle frame)을포함할수 있다.
Abstract translation: 提供一个防护薄膜。 防护薄膜组件包括：具有第一表面和面向第一表面的第二表面的膜; 设置在所述膜的第一表面上的第一防护薄膜框架; 以及设置在膜的第二表面上的第二防护薄膜框架。 热变形最小化，耐久性提高。
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