-
公开(公告)号：WO2019059683A1
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：PCT/KR2018/011169
申请日：2018-09-20
Applicant: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 , 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: PVA 브러쉬의 세정 방법이 제공된다. 상기 PVA 브러쉬의 세정 방법은, PVA 브러쉬를 준비하는 단계, 유기물을 포함하는 세정 용액으로 상기 PVA 브러쉬 내의 실록산(siloxane) 화합물을 제거하는 단계, 및 상기 PVA 브러쉬에 진동을 가하여, 상기 PVA 브러쉬 내의 불순물을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
-
公开(公告)号：KR102156997B1
公开(公告)日：2020-09-16
申请号：KR1020190027274
申请日：2019-03-11
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: B24B53/017 , B24B53/12 , B24B37/20
-
公开(公告)号：KR102100029B1
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：KR1020180036176
申请日：2018-03-28
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단 , 한양대학교 산학협력단
-
公开(公告)号：KR1020170033461A
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150130744
申请日：2015-09-16
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: H01L21/033 , H01L21/02 , H01L21/306 , H01L29/06 , C23C14/04
Abstract: 기판을준비하는단계, 상기기판의제1 면(first surface) 상에타겟패턴(target pattern)이형성된제1 필름(first film)을배치하는단계, 상기기판의제2 면(second surface) 상에, 상기기판의중앙부를덮고, 상기기판의가장자리부를노출하는제2 필름(second film)을배치하는단계, 및노출된상기기판의상기가장자리부를통해전류를공급하는방법으로, 상기기판을전기화학식각(electrochemical etching)하여, 상기기판내에상기타겟패턴에대응하는타겟홀(target hole)을형성하는단계를포함하는패턴마스크의제조방법이제공될수 있다.
-
公开(公告)号：KR101714908B1
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150148183
申请日：2015-10-23
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: G03F1/00 , G03F1/62 , G03F1/66 , G03F7/20 , G03F1/22 , H01L21/033 , H01L21/027 , H01L21/02
Abstract: 마스크상에배치되고, 실리콘카바이드(SiC)를포함하는제1 보호층(first protective layer), 상기제1 보호층상의지르코늄(Zr)을포함하는코어층(core layer), 상기코어층상의실리콘나이트라이드(SiN)를포함하는제2 보호층(second protective layer), 및상기제2 보호층상의실리콘카바이드(SiC)를포함하는제3 보호층(third protective layer)을포함하는극자외선리소그래피용펠리클구조체가제공될수 있다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160127218A
公开(公告)日：2016-11-03
申请号：KR1020150057401
申请日：2015-04-23
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: H01L21/027 , G03F1/62 , G03F1/00
Abstract: 펠리클이제공된다. 상기펠리클은, 제1 면및 상기제1 면에대향하는제2 면을갖는멤브레인(membrane), 상기멤브레인의상기제1 면상의펠리클프레임(pellicle frame), 및상기멤브레인으로부터열을흡수하여외부로방출하고, 상기멤브레인의상기제2 면으로부터위로(upwardly) 연장하는복수의핀(fin)들을포함하고, 상기멤브레인의상기제2 면의가장자리상에배치된, 열방출층(heat emission layer)을포함한다.
-
公开(公告)号：KR101651341B1
公开(公告)日：2016-08-26
申请号：KR1020140170294
申请日：2014-12-02
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 초발수성금속구조물의제조방법이제공된다. 상기초발수성금속구조물의제조방법은, 금속구조물을준비하는단계, 상기금속구조물의표면에제1 선폭을갖는제1 패턴을형성하는단계, 및상기제1 패턴을갖는상기금속구조물의상기표면에상기제1 선폭(line width)보다좁은제2 선폭을갖는제2 패턴, 및상기제2 패턴을덮는(cover) 코팅층을동일한공정에서형성하는단계를포함할수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020160066590A
公开(公告)日：2016-06-13
申请号：KR1020140170294
申请日：2014-12-02
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 초발수성금속구조물의제조방법이제공된다. 상기초발수성금속구조물의제조방법은, 금속구조물을준비하는단계, 상기금속구조물의표면에제1 선폭을갖는제1 패턴을형성하는단계, 및상기제1 패턴을갖는상기금속구조물의상기표면에상기제1 선폭(line width)보다좁은제2 선폭을갖는제2 패턴, 및상기제2 패턴을덮는(cover) 코팅층을동일한공정에서형성하는단계를포함할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种超疏水金属结构体的制造方法。 超疏水金属结构的制造方法包括：制备金属结构的步骤; 在所述金属结构的表面上形成具有第一线宽度的第一图案的步骤; 以及在具有第一图案的金属结构体的表面上形成具有比第一线宽窄的第二线宽的第二图案的步骤，并且在相同的工艺中形成覆盖第二图案的涂层。 超疏水金属结构具有改善的防水性能，并且能够通过简化的制造工艺以降低的成本制造。
-
公开(公告)号：KR1020150099675A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：KR1020140040543
申请日：2014-04-04
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: H01L21/302 , H01L21/027 , G03F1/62
Abstract: 펠리클 프레임의 세정 방법이 제공된다. 상기 펠리클 프레임의 세정 방법은, 알칼리 용액을 이용하여 펠리클 프레임(pellicle frame)을 세정하는 단계, 산화제를 포함하는 세정 용액을 이용하여, 상기 알칼리 용액으로 세정된 상기 펠리클 프레임을 세정하는 단계, 상기 펠리클 프레임을 린싱하는 단계, 및 상기 펠리클 프레임을 건조하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种清洁防护薄膜组件框架的方法。 用于清洁防护薄膜框架的方法包括：使用碱溶液来清洁防护薄膜框架的步骤; 使用含有氧化剂的清洗液清洗用碱溶液清洗的防护薄膜组件框架的步骤; 漂洗防护薄膜框架的一个步骤; 以及干燥防护薄膜框架的步骤。
-
公开(公告)号：KR1020150061765A
公开(公告)日：2015-06-05
申请号：KR1020130145866
申请日：2013-11-28
Applicant: 현대자동차주식회사 , 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 본발명은알루미늄(Al) 합금재질의증발기용핀 표면에요철형상의표면을형성시키고그 위에발수성단분자층을형성시켜증발기표면에초발수특성을갖는코팅층을구비하게함으로써응축수가쉽게배출및 제거되는초발수성코팅층이형성된증발기용핀 및이의제조방법에관한것이다. 본발명에따른증발기용핀은초발수적표면특성을갖기때문에응축수가증발기표면에서단기간에제거될수 있어, 세균, 곰팡이등의미생물이증발길표면에증식할수 없게되며, 응축수에의한알루미늄의부식을억제함으로써냄새를저감시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有超疏水涂层的蒸发器翅片及其制造方法，其中在作为铝（Al）合金材料的蒸发器的翅片表面上形成有不平坦表面，以及 在其上形成防水性单分子层，以在蒸发器表面上具有超疏水特性的涂层，从而容易地排出和除去冷凝水。 根据本发明，作为蒸发器的翅片具有超疏水性表面特性，在短时间内可以在蒸发器表面上除去冷凝水，以使细菌，真菌等微生物不被 在蒸发器表面增殖。 通过冷凝水对铝的腐蚀被抑制以减少气味。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
32
records
(took 0.028 seconds)
