公开(公告)号：KR1020150099675A

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：KR1020140040543

申请日：2014-04-04

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 김민수 ,  김향란 ,  김현태 ,  박진구

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/027 ,  G03F1/62

CPC classification number: G03F1/82 ,  G03F1/64

Abstract: 펠리클 프레임의 세정 방법이 제공된다. 상기 펠리클 프레임의 세정 방법은, 알칼리 용액을 이용하여 펠리클 프레임(pellicle frame)을 세정하는 단계, 산화제를 포함하는 세정 용액을 이용하여, 상기 알칼리 용액으로 세정된 상기 펠리클 프레임을 세정하는 단계, 상기 펠리클 프레임을 린싱하는 단계, 및 상기 펠리클 프레임을 건조하는 단계를 포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种清洁防护薄膜组件框架的方法。 用于清洁防护薄膜框架的方法包括：使用碱溶液来清洁防护薄膜框架的步骤; 使用含有氧化剂的清洗液清洗用碱溶液清洗的防护薄膜组件框架的步骤; 漂洗防护薄膜框架的一个步骤; 以及干燥防护薄膜框架的步骤。