公开(公告)号：KR100588497B1

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：KR1020030100902

申请日：2003-12-30

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  기아자동차주식회사

Inventor： 김용권 ,  권영우 ,  박재형 ,  이상효 ,  박진호

IPC: H01L29/00

Abstract: 직접 접촉식 MEMs 스위치 제조방법이 개시된다. 개시된 직접 접촉식 MEMs 스위치 제조방법은, (a) 기판 위에 신호 전송선 부분의 금 전해 도금을 위한 기반층으로 크롬과 금을 연속적으로 열증착하고, 그 위에 소정 두께의 감광제를 도포하며, 상기 신호 전송선 부분의 형상을 도금하기 위한 도금틀을 사진 식각으로 패턴을 형성하는 단계와; (b) 상기 신호 전송선에 금을 전해 도금하는 단계와; (c) 지지부재를 구동할 때 구동 전극과 바닥 전극 사이에서 DC 단락을 방지하기 위한 절연막으로 소정 두께의 실리콘 질화막으로 패턴을 형성하는 단계와; (d) 상기 신호 전송선의 단차를 보정하기 위한 표면을 평탄화하는 단계와; (e) 상기 신호 전송선과 접촉부의 간격을 고려하여 소정 두께의 희생층이 형성되도록 감광막을 도포하는 단계; (f) 상기 희생층 감광막을 대류 오븐에서 소정 온도까지 열처리하는 단계와; (g) 스위치를 동작할 때 상기 구동부가 바닥 전극에 닫기 전에 접촉부가 먼저 상기 신호 전송선에 닫도록 하기 위하여 상기 희생층을 식각하여 상기 구동부와 상기 접촉부의 높이차가 있도록 단차를 만들어 주고, 상기 희생층 위에 도금 기반층을 증착하고 도금틀을 형성하는 단계와; (h) 상기 접촉부와 구동부를 전기적으로 분리시키는 연결 구조로서 절연막을 형성하는 단계와; (i) 상기 희생층을 제거한 후, 초기 변형이 작고 기계적 특성이 우수한 소정 금속으로 전해 도금을 실시하여 구동부를 형성하는 단계와; (j) 상기 희생층으로 사용된 감광제를 플라즈마 애싱을 이용한 등방성 식각 조건으로 제거하여 스위치를 완성하는 단계;를 포함하는 것을 그 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 수십 GHz 이상의 주파수 대역에서 사용되는 무선 통신 송수신 시스템에 적용할 수 있고, 전기적, 기계적 특성이 향상되며, 신뢰성과 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
MEMs 스위치, SPDT 스위치, 절연막

公开(公告)号：KR1020050069059A

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1020030100902

申请日：2003-12-30

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  기아자동차주식회사

Inventor： 김용권 ,  권영우 ,  박재형 ,  이상효 ,  박진호

IPC: H01L29/00

Abstract: 직접 접촉식 MEMs 스위치와 그 제조방법이 개시된다. 개시된 직접 접촉식 MEMs 스위치는, 기판과; 상기 기판 상에 형성되는 신호 전송선과; 상기 신호 전송선과 접촉하게 되어 온(ON) 상태를 만들어 주는 접촉부와; 상기 기판 상에 마련되어 정전력으로 구동되는 구동부와; 상기 구동부를 연결하는 지지부재와; 상기 구동부와 상기 접촉부 사이를 전기적으로 완전히 분리하여, 구동을 위한 인가 전압 신호와 상기 신호 전송선의 입력단에서 출력단으로 전송되는 신호를 분리하는 절연막 연결부;를 포함하는 것을 그 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 수십 GHz 이상의 주파수 대역에서 사용되는 무선 통신 송수신 시스템에 적용할 수 있고, 전기적, 기계적 특성이 향상되며, 신뢰성과 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR100748747B1

公开(公告)日：2007-08-13

申请号：KR1020060015361

申请日：2006-02-17

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  주식회사 한라홀딩스

Inventor： 장유진 ,  조동일 ,  박재홍 ,  심은섭 ,  최병두 ,  권영우 ,  정진호 ,  최우열 ,  노종선 ,  남상욱 ,  이재관 ,  한상휘 ,  유시복

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81B7/00

Abstract: A non-contact RF MEMS(Radio Frequency MicroElectroMechanical System) switch is provided to remarkably improve credibility of the switch, and advance commercialization of the switch by solving stiction problem as well as micro welding problem. A non-contact RF MEMS(Radio Frequency MicroElectroMechanical System) system switch comprises a substrate, a signal line, a ground, a signal line comb part, a drive unit and a comb unit of the drive unit. The substrate is laminated on an upper surface with silicon(13). The signal line is formed on the substrate. The ground is formed to be spaced from the signal line. The signal line comb part is formed on both side of the signal line in ground direction, and forms a plurality of protrusions on an end so as to have equal distance. The drive unit is formed on the substrate to be opposite to each other, and driven in horizontal direction. The comb unit of the drive unit is integrally formed with the drive unit so as to be opposite to the signal line comb part by predetermined distance.

Abstract translation: 提供非接触RF MEMS（射频微机电系统）开关，以显着提高开关的可靠性，并通过解决静摩擦问题和微焊接问题来推进开关的商业化。 非接触RF MEMS（射频微机电系统）系统开关包括驱动单元的基板，信号线，地，信号线梳状部分，驱动单元和梳状单元。 衬底用硅（13）层压在上表面上。 信号线形成在基板上。 地面形成为与信号线隔开。 信号线梳齿部分形成在信号线的地面方向的两侧，并且在一端形成多个突起以具有相等的距离。 驱动单元在基板上形成为彼此相对，并且在水平方向上被驱动。 驱动单元的梳子单元与驱动单元一体形成，从而与信号线梳子部分相对预定距离。