公开(公告)号：KR1019970029938A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950045595

申请日：1995-11-30

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 박관흠 ,  조영호 ,  고정상 ,  곽병만

IPC: H01H3/00

Abstract: 단일 스위치 내에서 전극간 접속 혹은 정전 용량 급속변화에 필요한 가속도 또는 전압의 임계치를 전기적으로 조절 할 수 있으며, 양방향 스위치 임계치를 각각 독립적으로 조절할 수 있는 가변 임계 미소 스위치를 제공할 목적으로 ;
실리콘 기판으로 이루어지며, 그 길이방향 중앙부의 상하부가 소정의 폭을 갖고 요입되어, 단면에서 볼 때 중앙부분이 소 두께부로 이루어지고, 그 양측 부분이 대 두께부로 이루어지며, 그 중앙부에 장방형의 공간부가 형성되는 베이스 플레이트와 ;
상기 베이스 플레이트의 공간부 하측을 제외한 부분에 2중으로 도포되며, 상기 공간부의 상측부에는 길이방향 양측이 절취되어 양단 고정보가 되도록 형성되는 내, 외측 박막층과 ;
상기 양단 고정보의 중간부에 부착되어 현수되는 질량체와 ;
상기 양단 고정보와 질량체의 하측으로 형성되는 상, 하부 전극과 ;
상기 베이스 플레이트의 양 대폭부 상하면에 형성되는 접착부 상, 하부 전극과 ;
일면으로 띠상의 전극이 형성되어 이의 전극이 양단 고정보와 직교되는 방향에서 베이스 플레이트의 상하면에 부착되는 상, 하부 유리를 포함하여 이루어지는 가변 임계 미소 스위치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1019970023513A

公开(公告)日：1997-05-30

申请号：KR1019950037075

申请日：1995-10-25

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 박관흠 ,  조영호 ,  고정상 ,  곽병만

IPC: H01H3/00

Abstract: 마이크로 머신 제작시 여러 가지 문제점을 유발케 하는 잔류 응력을 유리한 측면으로 역이용하여 잔류 응력에 의한 구조물의 좌굴을 이용하는 미소 스위치를 제공할 목적으로; 실리콘 기판으로 이루어지며, 그 길이 방향 중앙부의 상측부분 이하측으로 요입되어 그 중앙부에 소정 크기의 공간부가 형성되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 공간부 하측을 제외한 부분에 2중으로 도포되며, 상기 공간부의 상측부에는 길이 방향 양측이 절취되어 양단 고정보가 되도록 형성되는 내,외측 박막층과; 상기 양단 고정보의 상측으로 형성되는 하부 전극과; 상기 베이스 플레이트의 양측에 상기 양단 고정보와 동일 방향으로 형성되는 접착부 전극과, 하면으로 전극이 형성되어 베이스 플레이트의 상면에 부착되는 유리판을 포함하여 이루어지는 임계 미소 스위치 및 이의 제조방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR100158161B1

公开(公告)日：1998-12-15

申请号：KR1019950045595

申请日：1995-11-30

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 박관흠 ,  조영호 ,  고정상 ,  곽병만

IPC: H01H3/00

Abstract: 단일 스위치 내에서 전극간 접속 혹은 정전 용량 급속변화에 필요한 가속도 또는 전압의 임계치를 전기적으로 조절할 수 있으며, 양방향 스위치 임계치를 각각 독립적으로 조절할 수 있는 가변 임계 미소 스위치를 제공할 목적으로; 실리콘 기판으로 이루어지며, 그 길이방향 중앙부의 상하부가 소정의 폭을 갖고 요입되어, 단면에서 볼 때 중앙부분이 소 두께부로 이루어지고, 그 양측 부분이 대 두께부로 이루어지며, 그 중앙부에 장방형의 공간부가 형성되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 공간부 하측을 제외한 부분에 2중으로 도포되며, 상기 공간부의 상측부에는 길이방향 양측이 절취되어 양단 고정보가 되도록 형성되는 내,외측 박막층과; 상기 양단 고정보의 중간부에 부착되어 현수되는 질량체와; 상기 양단 고정보와 질량체의 하측으로 형성되는 상,하부 전극과; 상기 베이스 플레이트의 양 대폭부 상하면에 형성되는 접착부 상,하부 전극과; 일면으로 띠상의 전극이 형성되어 이의 전극이 양단 고정보와 직교되는 방향에서 베이스 플레이트의 상하면에 부착되는 상,하부 유리를 포함하여 이루어지는 가변 임계 미소 스위치를 제공한다.

公开(公告)号：KR100154055B1

公开(公告)日：1998-11-16

申请号：KR1019950037075

申请日：1995-10-25

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 박관흠 ,  조영호 ,  고정상 ,  곽병만

IPC: H01H3/00

Abstract: 마이크로 머신 제작시 여러 가지 문제점을 유발케 하는 잔류 응력을 유리한 측면으로 역이용하여 잔류 응력에 의한 구조물의 좌굴을 이용하는 미소 스위치를 제공할 목적으로; 실리콘 기판으로 이루어지며, 그 길이 방향 중앙부의 상측부분이 하측으로 요입되어 그 중앙부에 소정 크기의 공간부가 형성되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 공간부 하측을 제외한 부분에 2중으로 도포되며, 상기 공간부의 상측부에는 길이 방향 양측이 절취되어 양단 고정보가 되도록 형성되는 내,외측 박막층과; 상기 양단 고정보의 상측으로 형성되는 하부 전극과; 상기 베이스 플레이트의 양측에 상기 양단 고정보와 동일 방향으로 형성되는 접착부 전극과; 하면으로 전극이 형성되어 베이스 플레이트의 상면에 부착되는 유리판을 포함하여 이루어지는 임계 미소 스위치 및 이의 제조방법을 제공한다.