公开(公告)号：KR101681000B1

公开(公告)日：2016-11-29

申请号：KR1020157037295

申请日：2014-10-17

Applicant: 화중과기대

Inventor： 후앙,지앙 ,  판,밍우 ,  유,티아오친 ,  장,리게 ,  주오,첸 ,  양,준 ,  시옹,용치안 ,  리우,카이펭 ,  우,제랄드에프. ,  카오,레이

IPC: G21K5/04 ,  G21K1/093

CPC classification number: H01J37/143 ,  G21K1/093 ,  G21K5/04 ,  H01J3/12 ,  H01J33/00 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0835 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/152

Abstract: 본발명은일의종전자빔확산단면수정장치및 그방법을제공하는바, 구체적으로: 2개조의영구자성철을포함한다. 제1조영구자성철로구성된자기장이전자빔을근사한타원형으로확산시키고, 제2조영구자성철로구성된자기장은전자빔변두리에대한수정을하여근사한직사각형을형성한다. 4개의종향포지션연결장치에대한조작을통해제1조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 타원형과근사한전자빔에대한 1차종향압축을하며, 이어서제2조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 직사각형과근사한전자빔에대해전자빔종향사이즈가 80mm로압축될때까지 2차종향압축을계속한다. 본발명은확산후의전자빔종향사이즈에대한합리한압축을통해최고의조사균일도와조사효율을보장하는외에종래의티타늄윈도우의설정범위내에서유지할수도있다.

Abstract translation: 本发明提供一种用于优化电子束的扩散部分的装置，包括两组永久磁体，由四个磁极形成的磁场，其沿纵向方向延伸电子束，并且沿横向压缩电子束，因此 电子束变成近似椭圆; 由八个磁极形成的另一个磁场将分散的电子束束的边缘优化成近似矩形; 通过控制四个纵向连接机构，使得第一组永磁体的上磁轭和下磁轭同步向其中心移动，从而纵向压缩近似椭圆形的电子束，并且上磁轭 并且第二组永磁体的下磁轭朝向其中心同步移动，从而纵向压缩大致矩形的电子束，并且重复纵向压缩的过程，直到电子束束的纵向尺寸 减至80毫米。 本发明能够将扩散后的电子束束的纵向尺寸合理地压缩至大约80mm，这确保了最佳的照射均匀性和效率，并且使纵向尺寸在常规的钛合金窗口的范围内，

公开(公告)号：KR1020160032715A

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：KR1020157037295

申请日：2014-10-17

Applicant: 화중과기대

Inventor： 후앙,지앙 ,  판,밍우 ,  유,티아오친 ,  장,리게 ,  주오,첸 ,  양,준 ,  시옹,용치안 ,  리우,카이펭 ,  우,제랄드에프. ,  카오,레이

IPC: G21K5/04 ,  G21K1/093

CPC classification number: H01J37/143 ,  G21K1/093 ,  G21K5/04 ,  H01J3/12 ,  H01J33/00 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0835 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/152

Abstract: 본발명은일의종전자빔확산단면수정장치및 그방법을제공하는바, 구체적으로: 2개조의영구자성철을포함한다. 제1조영구자성철로구성된자기장이전자빔을근사한타원형으로확산시키고, 제2조영구자성철로구성된자기장은전자빔변두리에대한수정을하여근사한직사각형을형성한다. 4개의종향포지션연결장치에대한조작을통해제1조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 타원형과근사한전자빔에대한 1차종향압축을하며, 이어서제2조영구자성철의상, 하마그네틱요크를그들사이의중심을향해동기화로이동시키고, 직사각형과근사한전자빔에대해전자빔종향사이즈가 80mm로압축될때까지 2차종향압축을계속한다. 본발명은확산후의전자빔종향사이즈에대한합리한압축을통해최고의조사균일도와조사효율을보장하는외에종래의티타늄윈도우의설정범위내에서유지할수도있다.