公开(公告)号：KR20180072688A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR20187010763

申请日：2016-08-22

Applicant: ADEKA CORP

Inventor： MASAMOTO YUJI ,  SAIO YOSHIHIDE ,  AOKI TAMAMI

IPC: C09K13/06 ,  C23F1/18 ,  H01L21/306

CPC classification number: C23F1/18 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308 ,  H05K3/06

Abstract: 본발명은식각액조성물에관한것이고, 구리기반층을포함하는코팅필름의시각에사용된다. 본식각액조성물은 (A) 철이온(ferric ions) 및구리이온(cupric ion) 중으로부터선택된적어도하나의타입산화제0.1 내지 30 질량%; (B) 염화수소(hydrogen chloride) 0.1 내지 20 질량%; 및(C) 1,3-디히드록시벤젠(1,3-dihydroxybenzene) 0.01 내지 25 질량%;을포함하는수용액(aqueous solution)으로구성된다. 본발명의식각방법에서, 기판상에형성되고, 구리기반층을포함하는코팅필름은식각액조성물을사용하여식각된다. 본발명에따른식각액조성물및 식각방법은바람직한치수정확성을갖는배선패턴을형성하고, 또한높은안정성및 석출물생성의억제를제공한다.

公开(公告)号：JP2017084873A

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：JP2015209028

申请日：2015-10-23

Applicant: 株式会社Adeka ,  Adeka Corp ,  株式会社Adeka

Inventor： MASAMOTO YUJI ,  SAIBI YOSHIHIDE ,  AOKI TAMAMI

IPC: H01L21/308 ,  C23F1/18 ,  H01L21/306

CPC classification number: C23F1/18 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308 ,  H05K3/06

Abstract: 【課題】安定性が高く、沈殿物が発生し難いと共に、所望の寸法精度を有する配線パターンを形成することが可能なエッチング液組成物及びエッチング方法を提供する。【解決手段】本発明のエッチング液組成物は、銅系層を含む被膜のエッチングに用いられる。このエッチング液組成物は、(A)第二鉄イオン及び第二銅イオンから選ばれる少なくとも1種の酸化剤0.1〜30質量%;(B)塩化水素0.1〜20質量%;及び(C)1,3−ジヒドロキシベンゼン0.01〜25質量%を含む水溶液からなる。また、本発明のエッチング方法は、このエッチング液組成物を用いて、基体上に形成された銅系層を含む被膜をエッチングする。【選択図】なし