公开(公告)号：KR20180072688A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR20187010763

申请日：2016-08-22

Applicant: ADEKA CORP

Inventor： MASAMOTO YUJI ,  SAIO YOSHIHIDE ,  AOKI TAMAMI

IPC: C09K13/06 ,  C23F1/18 ,  H01L21/306

CPC classification number: C23F1/18 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308 ,  H05K3/06

Abstract: 본발명은식각액조성물에관한것이고, 구리기반층을포함하는코팅필름의시각에사용된다. 본식각액조성물은 (A) 철이온(ferric ions) 및구리이온(cupric ion) 중으로부터선택된적어도하나의타입산화제0.1 내지 30 질량%; (B) 염화수소(hydrogen chloride) 0.1 내지 20 질량%; 및(C) 1,3-디히드록시벤젠(1,3-dihydroxybenzene) 0.01 내지 25 질량%;을포함하는수용액(aqueous solution)으로구성된다. 본발명의식각방법에서, 기판상에형성되고, 구리기반층을포함하는코팅필름은식각액조성물을사용하여식각된다. 본발명에따른식각액조성물및 식각방법은바람직한치수정확성을갖는배선패턴을형성하고, 또한높은안정성및 석출물생성의억제를제공한다.