公开(公告)号：DE102015116556A1

公开(公告)日：2016-03-31

申请号：DE102015116556

申请日：2015-09-30

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： XIN ZHANG ,  MOLNAR GEORGE M ,  JUDY MICHAEL W ,  NEEDHAM CHRISTOPHER R ,  JIA KEMIAO

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/08

Abstract: Ein MEMS-Produkt enthält eine gegen Spannungen isolierte MEMS-Plattform, die von einem Entspannungszwischenraum umgeben wird und von einem Substrat aufgehängt ist. Der Entspannungszwischenraum stellt eine Sperre gegen die Übertragung von mechanischer Spannung vom Substrat an die Plattform bereit.