公开(公告)号：DE102016116792B4

公开(公告)日：2022-07-14

申请号：DE102016116792

申请日：2016-09-08

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： KAANTA BRADLEY C ,  JIA KEMIAO

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/09

Abstract: MEMS-Vorrichtung, umfassend:ein Substrat (16) mit einer Isolatorschicht (28), einer Strukturoberfläche und einer gegenüberliegenden Außenoberfläche, wobei die Isolatorschicht (28) wenigstens einen Teil der Strukturoberfläche des Substrats (16) bildet;eine Mikrostruktur (18), die integral mit der Strukturoberfläche des Substrats (16) gebildet ist;eine Kappe (20), die an die Isolierschicht (28) des Substrats (16) gekoppelt ist, um eine hermetisch versiegelte Innenkammer (24) zu bilden, die die Mikrostruktur (18) enthält,wobei das Substrat (16) einen Graben (30) bildet, der sich von der Isolierschicht (28) zu der gegenüberliegenden Außenoberfläche erstreckt und zu der gegenüberliegenden Außenoberfläche offen ist, um einen Sensorbereich (32) und einen zweiten Bereich (34) zu bilden, wobei sich der zweite Bereich (34) radial auswärts von dem Sensorbereich (32) befindet;eine Feder (42), um den Sensorbereich (32) und den zweiten Bereich (34) wenigstens teilweise mechanisch zu verbinden; undeine mit dem Substrat (16) integrale Verbindungsstruktur, die den Sensorbereich (32) und den zweiten Bereich (34) verbindet, wobei die Verbindungsstruktur die Isolierschicht (28) umfasst,wobei die Verbindungsstruktur die Innenkammer (24) wenigstens teilweise hermetisch versiegelt.

公开(公告)号：DE102015116556A1

公开(公告)日：2016-03-31

申请号：DE102015116556

申请日：2015-09-30

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： XIN ZHANG ,  MOLNAR GEORGE M ,  JUDY MICHAEL W ,  NEEDHAM CHRISTOPHER R ,  JIA KEMIAO

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/08

Abstract: Ein MEMS-Produkt enthält eine gegen Spannungen isolierte MEMS-Plattform, die von einem Entspannungszwischenraum umgeben wird und von einem Substrat aufgehängt ist. Der Entspannungszwischenraum stellt eine Sperre gegen die Übertragung von mechanischer Spannung vom Substrat an die Plattform bereit.

公开(公告)号：DE102021111847A1

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：DE102021111847

申请日：2021-05-06

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： GREGORY JEFFREY A ,  BLACKMER CHARLES ,  DUNN TYLER ADAM ,  HWANG EUGENE OH ,  KUANG JINBO ,  JIA KEMIAO ,  POPA LAURA CORNELIA ,  PRIKHODKO IGOR P ,  TATAR ERDINC

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G01P15/18

Abstract: Es werden hier säulenförmige mehrachsige MEMS-Vorrichtungen (MEMS, mikroelektromechanisches System) beschrieben, die gegen unerwünschte Linear- und Winkelschwingungen ausgeglichen sind. Bei einigen Ausführungsformen kann die säulenförmige MEMS-Vorrichtung mindestens zwei Mehrfachmassensäulen umfassen, die jeweils mindestens drei Prüfmassen aufweisen und dazu ausgebildet sind, eine Drehung um eine jeweilige Achse zu erfassen. Die Bewegung und die Masse der Prüfmassen können dahingehend gesteuert werden, einen Linear- und Drehausgleich der MEMS-Vorrichtung zu erzielen. Die säulenförmige MEMS-Vorrichtung kann ferner eine oder mehrere modulare Antriebsstrukturen umfassen, die neben jeder Mehrfachmassensäule angeordnet sind, um eine Verschiebung der Prüfmassen an einer jeweiligen Säule zu ermöglichen. Die hier beschriebenen MEMS-Vorrichtungen können dazu verwendet werden, Roll-, Gier- und Nickwinkelraten zu erfassen.

公开(公告)号：DE102016116792A1

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：DE102016116792

申请日：2016-09-08

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： KAANTA BRADLEY C ,  JIA KEMIAO

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/09

Abstract: Eine MEMS-Vorrichtung weist ein Substrat mit einer Strukturoberfläche und einer gegenüberliegenden Außenoberfläche, eine Mikrostruktur, die auf der Strukturoberfläche des Substrats gebildet ist, und eine Kappe, die an das Substrat zum Bilden einer hermetisch versiegelten Innenkammer, die die Mikrostruktur enthält, gekoppelt ist, auf. Das Substrat bildet einen Graben, der sich von der gegenüberliegenden Außenoberfläche erstreckt und zu dieser offen ist, um einen Sensorbereich und einen zweiten Bereich herzustellen. Speziell befindet sich der zweite Bereich radial auswärts von dem Sensorbereich. Die MEMS-Vorrichtung weist außerdem eine wenigstens teilweise integral innerhalb des Grabens gebildete Feder zum mechanischen Verbinden des Sensorbereichs und des zweiten Bereichs und eine mit dem Substrat integrale andere Struktur auf. Die Feder oder die andere Struktur versiegeln die Innenkammer wenigstens teilweise hermetisch.

公开(公告)号：DE102016101831A1

公开(公告)日：2016-08-11

申请号：DE102016101831

申请日：2016-02-02

Applicant: ANALOG DEVICES INC

Inventor： KAANTA BRADLEY C ,  ALBERGHINI JOHN A ,  JIA KEMIAO

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H01L23/48

Abstract: Ein gehäuster Mikrochip weist einen Sockel, einen Die mit einer Einbaufläche und einen elektrisch inaktiven Interposer zwischen dem Sockel und dem Die auf. Der Interposer weist eine erste Seite mit mindestens einer Aussparung auf, die sich von der ersten Seite aus nicht weiter als zum Teil durch den Interposer erstreckt. Dementsprechend definiert die Aussparung einen oberen Abschnitt (der ersten Seite) mit einem oberen Bereich. Die Einbaufläche des Die, die mit dem Interposer gekoppelt ist, weist entsprechend einen Die-Bereich auf. Der obere Bereich des Interposer ist bevorzugt kleiner als der Die-Bereich.