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公开(公告)号：CN101373375A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810137676.X
申请日：2008-07-08
Applicant: ASM日本公司
CPC classification number: F16K51/02
Abstract: 一种方法控制一种设备比如半导体处理设备，该半导体处理设备包含控制器和由该控制器控制的至少一个装置，其中该控制器配备有用于与该装置通信的接口，而且该接口具有用于测量通信的时间间隔的内部时钟。该方法包含：将控制器的操作系统的系统时钟替换为该接口的内部时钟，该系统时钟用于发送指令到该接口；使用由替代该系统时钟的该内部时钟所测量的时间间隔，从该控制器发送指令到该接口；以及使用由接口中的内部时钟所测量的时间间隔，从该接口发送指令到该装置，从而控制该装置。
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