公开(公告)号：TWI511222B

公开(公告)日：2015-12-01

申请号：TW098118569

申请日：2009-06-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾格渥 拉敏德 ,  AGGARWAL, RAVINDER ,  海洛 鮑勃 ,  HARO, BOB

IPC: H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4585 ,  C23C16/46

公开(公告)号：TW201007873A

公开(公告)日：2010-02-16

申请号：TW098118569

申请日：2009-06-04

Applicant: ASM美國股份有限公司

Inventor： 艾格渥 拉敏德 ,  海洛 鮑勃

IPC: H01L

CPC classification number: C23C16/4585 ,  C23C16/46

Abstract: 一種單件式的載台環，適於容置至少一溫度量測裝置。此載台環包括：板件，具有通過該板件而形成的孔洞；與一對側肋，一體成型地連接至板件的下表面。這對側肋分別位於孔洞的相對兩側。此載台環更包括：形成於各個側肋內的軸孔。每個軸孔設置成：於該軸孔中接收一溫度量測裝置。

Abstract in simplified Chinese: 一种单件式的载台环，适于容置至少一温度量测设备。此载台环包括：板件，具有通过该板件而形成的孔洞；与一对侧肋，一体成型地连接至板件的下表面。这对侧肋分别位于孔洞的相对两侧。此载台环更包括：形成于各个侧肋内的轴孔。每个轴孔设置成：于该轴孔中接收一温度量测设备。