公开(公告)号：TWI500096B

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：TW097141841

申请日：2008-10-30

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾格渥 拉敏德 ,  AGGARWAL, RAVINDER ,  可雷夏克 馬克 ,  KLESHOCK, MARK ,  雅可布斯 勞恩 ,  JACOBS, LOREN

IPC: H01L21/67 ,  G01K7/02 ,  C23C16/54

CPC classification number: G01K7/04 ,  G01K13/00 ,  G01K15/00 ,  H01L21/67248

公开(公告)号：TWI511222B

公开(公告)日：2015-12-01

申请号：TW098118569

申请日：2009-06-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾格渥 拉敏德 ,  AGGARWAL, RAVINDER ,  海洛 鮑勃 ,  HARO, BOB

IPC: H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4585 ,  C23C16/46