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公开(公告)号：TWI488990B
公开(公告)日：2015-06-21
申请号：TW098112674
申请日：2009-04-16
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 李 東 , LI, DONG , 馬庫斯 史蒂芬 , MARCUS, STEVEN , 賀加 蘇維P , HAUKKA, SUVI P. , 林偉民 , LI, WEI-MIN
IPC: C23C16/32 , H01L21/283
CPC classification number: C23C16/32 , C23C16/45527 , H01L21/28088 , H01L21/28273 , H01L21/28562 , H01L21/76843 , H01L29/4966
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