公开(公告)号：TWI508175B

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：TW099101667

申请日：2010-01-21

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 米利根 羅伯特B ,  MILLIGAN, ROBERT B. ,  李 東 ,  LI, DONG ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L23/562 ,  C23C16/32 ,  C23C16/36 ,  C23C16/45542 ,  H01L21/28088 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：TWI488990B

公开(公告)日：2015-06-21

申请号：TW098112674

申请日：2009-04-16

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 李 東 ,  LI, DONG ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN ,  賀加 蘇維P ,  HAUKKA, SUVI P. ,  林偉民 ,  LI, WEI-MIN

IPC: C23C16/32 ,  H01L21/283

CPC classification number: C23C16/32 ,  C23C16/45527 ,  H01L21/28088 ,  H01L21/28273 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76843 ,  H01L29/4966

公开(公告)号：TWI443221B

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：TW096139836

申请日：2007-10-24

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK ,  威爾克 葛嵐 ,  WILK, GLEN ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN

IPC: C23C16/32

CPC classification number: C23C16/32 ,  C23C16/45527 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/515

公开(公告)号：TWI397110B

公开(公告)日：2013-05-21

申请号：TW095108719

申请日：2006-03-15

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 努頓 莎貝之聖E 凡 ,  NOOTEN, SEBASTIAN E. VAN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  拉薩內尼 佩托 ,  RAISANEN, PETRI ,  艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/8242

CPC classification number: H01J37/32082 ,  C23C16/045 ,  C23C16/403 ,  C23C16/448 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/50 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32935 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3141 ,  H01L21/3162 ,  H01L29/66181