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公开(公告)号：TWI463538B
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW098114220
申请日：2009-04-29
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 史考特 羅賓 查理斯 , SCOTT, ROBIN CHARIS , 強森 梅特 , JOHNSON, MATT
IPC: H01L21/205 , C23C16/02 , C23C16/46
CPC classification number: H01L21/02661 , C23C16/0209 , C30B25/186 , C30B29/06 , C30B33/02 , C30B33/12 , H01L21/02381
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