公开(公告)号：TWI509108B

公开(公告)日：2015-11-21

申请号：TW099112156

申请日：2010-04-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 瑞格哈瓦 斯里尼 ,  RAGHAVAN, SRINI ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  維埃茲 莫西斯 ,  VERGHESE, MOHITH

IPC: C23F1/32 ,  C23F1/36 ,  C23F1/38 ,  C23F11/06

CPC classification number: C09K13/02 ,  C11D7/06 ,  C11D7/10 ,  C11D7/265 ,  C11D11/0041 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/45525 ,  C23G1/18 ,  C23G1/205 ,  C23G1/22