公开(公告)号：TWI394862B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：TW093112463

申请日：2004-05-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬伊夫 維基 ,  VERGHESE, MOHITH ,  艾立克J. 雪洛 ,  SHERO, ERIC J.

IPC: C23C16/54

CPC classification number: B82Y30/00 ,  C23C16/403 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/45525 ,  C23C22/68 ,  C30B25/14 ,  H01J37/32477

公开(公告)号：TWI509108B

公开(公告)日：2015-11-21

申请号：TW099112156

申请日：2010-04-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 瑞格哈瓦 斯里尼 ,  RAGHAVAN, SRINI ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  維埃茲 莫西斯 ,  VERGHESE, MOHITH

IPC: C23F1/32 ,  C23F1/36 ,  C23F1/38 ,  C23F11/06

CPC classification number: C09K13/02 ,  C11D7/06 ,  C11D7/10 ,  C11D7/265 ,  C11D11/0041 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/45525 ,  C23G1/18 ,  C23G1/205 ,  C23G1/22

公开(公告)号：TWI499686B

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：TW099127595

申请日：2010-08-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 雪洛 艾立克J ,  SHERO, ERIC J. ,  維埃茲 莫西斯 ,  VERGHESE, MOHITH ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/3141 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45527 ,  H01L21/02181 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/31645

公开(公告)号：TWI412063B

公开(公告)日：2013-10-11

申请号：TW095101879

申请日：2006-01-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬伊夫 維基 ,  VERGHESE, MOHITH ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  貝比克 達寇 ,  BABIC, DARKO ,  特后司特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  沛薩 瑪寇 ,  PEUSSA, MARKO ,  洋 敏 ,  YAN, MIN

IPC: H01L21/00 ,  C23C16/455 ,  C30B25/14

CPC classification number: H01L21/68785 ,  C23C16/4408 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45582 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/458 ,  C23C16/4582 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4586 ,  C30B35/00 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68742

公开(公告)号：TWI531675B

公开(公告)日：2016-05-01

申请号：TW099110511

申请日：2010-04-06

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 哈爾平 麥可 ,  HALPIN, MIKE ,  馬瑞司 丹 ,  MAURICE, DAN ,  席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  特豪斯特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  佛吉斯 摩希茲 ,  VERGHESE, MOHITH ,  懷特 卡爾 ,  WHITE, CARL

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45502 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45591 ,  H01L21/0228 ,  Y10T137/85938