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公开(公告)号：TWI515816B
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW099101229
申请日：2010-01-18
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 里德 約瑟夫C , REED, JOSEPH C. , 雪洛 艾立克 , SHERO, ERIC
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/68764 , H01L21/68742
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