公开(公告)号：TWI480527B

公开(公告)日：2015-04-11

申请号：TW099114329

申请日：2010-05-05

Applicant: ASM美洲公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 康納 藍得 ,  CONNER, RAND ,  阿嘉瓦 拉凡德K ,  AGGARWAL, RAVINDER K.

IPC: G01K7/04 ,  H01L21/67 ,  G05D23/22

CPC classification number: H01L21/67248 ,  C23C16/4586 ,  G01K1/14 ,  G01K7/02

公开(公告)号：TWI506256B

公开(公告)日：2015-11-01

申请号：TW099114331

申请日：2010-05-05

Applicant: ASM美洲公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 阿嘉瓦 拉凡德K ,  AGGARWAL, RAVINDER K. ,  康納 藍得 ,  CONNER, RAND

IPC: G01K7/10 ,  G05D23/22

CPC classification number: G01K7/02 ,  G01K1/02 ,  G05D23/1931 ,  G05D23/22