公开(公告)号：WO2009082539A1

公开(公告)日：2009-07-02

申请号：PCT/US2008/080810

申请日：2008-10-22

Applicant: ASM AMERICA, INC.

Inventor： AGGARWAL, Ravinder ,  KLESHOCK, Mark ,  JACOBS, Loren

IPC: G01K7/04 ,  G01K13/00 ,  G01K15/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: G01K7/04 ,  G01K13/00 ,  G01K15/00 ,  H01L21/67248

Abstract: Systems are provided for measuring temperature in a semiconductor processing chamber. Embodiments provide a multi-junction thermocouple (110) comprising a first junction (112) and a second junction (114) positioned to measure temperature at substantially the same portion of a substrate (16). A controller (120) may detect failures in the first junction (112), the second junction (114), a first wire pair (113) extending from the first junction (112), or a second wire pair (115) extending from the second junction (114). The controller (120) desirably responds to a detected failure of the first junction (112) or first wire pair (113) by selecting the second junction (114) and second wire pair (115). Conversely, the controller (120) desirably responds to a detected failure of the second junction (114) or second wire pair (115) by selecting the first junction (112) and first wire pair (113). Systems taught herein may permit accurate and substantially uninterrupted temperature measurement despite failure of a junction or wire pair in a thermocouple.

Abstract translation: 提供用于测量半导体处理室中的温度的系统。 实施例提供了多结热电偶（110），其包括第一结（112）和第二结（114），第二结（114）被定位成测量衬底（16）的基本相同部分处的温度。 控制器（120）可以检测第一结（112），第二结（114），从第一结（112）延伸的第一线对（113）或从第一结（112）延伸的第二线对 第二结（114）。 控制器120期望通过选择第二连接点114和第二线对115来响应检测到的第一结112或第一线对113的故障。 相反地​​，控制器120期望通过选择第一结（112）和第一线对（113）来响应第二结（114）或第二线对（115）的检测到的故障。 尽管本文教导的系统可能允许精确和基本上不间断的温度测量，尽管热电偶中的接头或线对失效。