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    确定施加到衬底的层的机械特性的方法及相关设备
    1.
    发明公开
    确定施加到衬底的层的机械特性的方法及相关设备 审中-实审

    公开(公告)号：CN118355334A

    公开(公告)日：2024-07-16

    申请号：CN202280080786.5

    申请日：2022-10-27

    Applicant: ASML荷兰有限公司

    Inventor： 张怀辰 ,  V·Y·蒂莫什科夫 ,  C·E·塔贝里 ,  M·豪普特曼 ,  O·科德科

    IPC: G03F7/20 ,  H01L21/66

    Abstract: 公开了一种用于确定施加到衬底的层的机械特性的方法。该方法包括：获得输入数据，该输入数据包括与所述层有关的量测数据；以及获得布局数据，其与要施加在所述层中的图案的布局有关。第一模型或第一模型项被用来至少基于输入数据来确定与所述层有关的全局机械特性；以及至少一个第二模型或至少一个第二模型项被用来基于所述第一机械特性和布局数据来预测机械特性分布或相关套刻图，该机械特性分布描述所述层上的机械特性变化。

    确定用于重叠特征标识的标记结构的方法
    3.
    发明公开
    确定用于重叠特征标识的标记结构的方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN116583785A

    公开(公告)日：2023-08-11

    申请号：CN202180078817.9

    申请日：2021-11-01

    Applicant: ASML荷兰有限公司

    Inventor： 张怀辰 ,  C·E·塔贝里

    IPC: G03F7/20

    Abstract: 本文中描述了用于产生量测标记结构的设备和方法，所述量测标记结构可以被形成在芯片上从而通过基于图案分布确定所述量测标记结构的特征来测量由对所述芯片执行的一个或更多个过程所引起的重叠特性。所述方法涉及获得第一函数以表征由对衬底执行的过程所引起的重叠特征标识。基于所述第一函数，导出图案分布，所述图案分布指示所述衬底的一部分内的特征的数目(例如，指示密度)。基于所述图案分布，确定所述量测标记结构的所述特征的物理特性(例如，形状、大小等)。

    量测方法
    4.
    发明公开
    量测方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN118742859A

    公开(公告)日：2024-10-01

    申请号：CN202380022608.1

    申请日：2023-01-23

    Applicant: ASML荷兰有限公司

    Inventor： C·巴蒂斯塔基斯 ,  张怀辰 ,  M·皮萨伦科 ,  V·巴斯塔尼 ,  K·S·涅恰耶夫 ,  R·阿努西亚多 ,  S·C·T·范德桑登

    IPC: G03F7/20 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08 ,  G06T7/00

    Abstract: 公开了一种用于确定与制造工艺中形成在衬底上的至少一个结构相关的感兴趣的参数的方法。该方法包括：获得与要被应用于所述结构的图案的布局相关的布局数据，所述图案包括所述至少一个结构；以及获得经训练的模型，该经训练的模型已经在量测数据和所述布局数据上被训练，以从至少所述布局数据中推断与感兴趣的参数相关的值和/或概率度量，该量测数据与在衬底上的相应多个测量位置处的感兴趣的参数的多个测量值相关。使用所述经训练的模型，从至少布局数据中确定与衬底上不同于所述测量位置的一个或多个位置处的感兴趣的参数相关的值和/或概率度量。

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