公开(公告)号：CN119563189A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202380051264.7

申请日：2023-09-13

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 苑瑞 ,  范期翔 ,  张懿心 ,  王富明 ,  林昀 ,  A·埃尔马克

IPC: G06T7/00

Abstract: 公开了一种用于生成仿真检查图像的改进的方法、装置和系统。根据某些方面，该方法包括获取包括第一图案的设计数据，生成与设计数据对应的第一灰度级分布，以及使用所生成的第一灰度等级分布来渲染图像。

公开(公告)号：CN118235159A

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202280075138.0

申请日：2022-10-14

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： T·厚本 ,  M·皮萨伦科 ,  T·J·胡伊斯曼 ,  浦凌凌 ,  周鉴 ,  于良江 ,  张懿心 ,  叶芸伶

IPC: G06T7/60 ,  G06T5/50 ,  G06T7/70 ,  G06N3/045 ,  G06N3/044 ,  G06N3/084

Abstract: 用于图像分析的系统和方法包括：获取均与受检样品相关联的多个模拟图像和多个非模拟图像，多个模拟图像中的至少一个模拟图像是样品上未被多个非模拟图像中的任一个非模拟图像成像的位置的模拟图像；以及使用多个模拟图像和多个非模拟图像作为输入来训练无监督域自适应技术，以减小多个模拟图像的第一强度梯度与多个非模拟图像的第二强度梯度之间的差异。