公开(公告)号：TWI424275B

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：TW097135382

申请日：2004-06-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 茄利 羅夫 ,  LOF, JOERI ,  漢斯 包特 ,  BUTLER, HANS ,  斯喬德 尼考拉司 蘭博特司 當德司 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  愛克夏 寇蘭辛嘉寇 ,  KOLESNYCHENKO, ALEKSEY ,  愛立克 羅勞夫 羅斯崔 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  漢德克斯 喬漢斯 瑪利亞 梅捷 ,  MEIJER, HENDRICUS JOHANNES MARIA ,  羅夫 愛寇 塞布蘭德 瑞茲瑪 ,  RITSEMA, ROELOF AEIKO SIEBRAND ,  法蘭克 范 斯慨 ,  VAN SCHAIK, FRANK ,  提姆瑟 法蘭西斯 參格 ,  SENGERS, TIMOTHEUS FRANCISCUS ,  卡拉司 賽門 ,  SIMON, KLAUS ,  喬安那 斯朵爾 戴 斯密特 ,  DE SMIT, JOANNES THEODOOR ,  包博 斯崔夫克 ,  STREEFKERK, BOB ,  愛立克 賽多爾 瑪利亞 畢爾特 ,  BIJLAART, ERIK THEODORUS MARIA ,  克利斯汀 愛利克安德 豪根丹 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  海莫 范 參登 ,  VAN SANTEN, HELMAR ,  馬卡斯 安德納斯 范 戴 克豪夫 ,  VAN DE KERKHOF, MARCUS ADRIANUS ,  馬克 克倫 ,  KROON, MARK ,  愛里 捷弗列 丹 包夫 ,  DEN BOEF, ARIE JEFFREY ,  菊斯特 捷恩 歐鄧 ,  OTTENS, JOOST JEROEN ,  喬納斯 嘉瑟琳那 哈博特司 姆肯斯 ,  MULKENS, JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS ,  愛利克安德 斯崔捷 ,  STRAAIJER, ALEXANDER ,  捷羅 喬漢斯 蘇菲雅 瑪利亞 麻登思 ,  MERTENS, JEROEN JOHANNES SOPHIA MARIA

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70141 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/7085 ,  G03F7/70883

公开(公告)号：TWI396056B

公开(公告)日：2013-05-11

申请号：TW097148044

申请日：2008-12-10

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 馬汀斯 漢德利克斯 安東尼斯 里恩德斯 ,  LEENDERS, MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS ,  史傑德 尼可拉斯 藍伯特 東德 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  克利斯提恩 華格納 ,  WAGNER, CHRISTIAN ,  羅吉爾 韓得瑞克 馬格達雷那 寇堤 ,  CORTIE, ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70341

公开(公告)号：TW201305739A

公开(公告)日：2013-02-01

申请号：TW101111186

申请日：2012-03-29

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 當德斯 史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  白尼 凡丁 葉弗真葉米希 ,  BANINE, VADIM YEVGENYEVICH ,  莫斯 喬漢斯 哈博特 喬瑟菲那 ,  MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA ,  微哈珍 馬提那斯 康納斯 瑪利亞 ,  VERHAGEN, MARTINUS CORNELIS MARIA ,  佛利恩斯 歐勒夫 華德瑪 佛勒迪米爾 ,  FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR ,  凡 東 吉瑞特 ,  VAN DONK, GERRIT ,  凡 吉納 漢克 詹 ,  VAN GERNER, HENK JAN

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70858 ,  F28D15/0266

Abstract: 一種用於熱調節一微影裝置之一部件的雙相熱調節系統包括：一蒸發器，該蒸發器定位成與該微影裝置之該部件熱接觸，用於藉由該蒸發器內部之一流體之蒸發而自該部件提取熱；一冷凝器，該冷凝器定位成距該微影裝置之該部件達一距離，用於藉由該冷凝器內部之該流體之冷凝而自該冷凝器內部之該流體移除熱；數個流體線路，該等流體線路配置於該蒸發器與該冷凝器之間以形成一迴路，流體能夠在該迴路中流動；一泵，該泵配置於該迴路中以使該流體在該迴路中循環；一儲罐，該儲罐經組態以保存流體，其中該儲罐與該迴路流體連通，且包含一熱交換器以自該儲罐內部之流體傳遞熱或將熱傳遞至該儲罐內部之流體；一溫度感測器，該溫度感測器經組態以提供表示該流體之溫度的一量測信號；及一控制器，該控制器經組態以藉由基於該量測信號而調整由該熱交換器自該儲罐內部之流體傳遞或傳遞至該儲罐內部之流體的熱量來維持該迴路內部之該流體的一實質上恆定之溫度。

Abstract in simplified Chinese: 一种用于热调节一微影设备之一部件的双相热调节系统包括：一蒸发器，该蒸发器定位成与该微影设备之该部件热接触，用于借由该蒸发器内部之一流体之蒸发而自该部件提取热；一冷凝器，该冷凝器定位成距该微影设备之该部件达一距离，用于借由该冷凝器内部之该流体之冷凝而自该冷凝器内部之该流体移除热；数个流体线路，该等流体线路配置于该蒸发器与该冷凝器之间以形成一回路，流体能够在该回路中流动；一泵，该泵配置于该回路中以使该流体在该回路中循环；一储罐，该储罐经组态以保存流体，其中该储罐与该回路流体连通，且包含一热交换器以自该储罐内部之流体传递热或将热传递至该储罐内部之流体；一温度传感器，该温度传感器经组态以提供表示该流体之温度的一量测信号；及一控制器，该控制器经组态以借由基于该量测信号而调整由该热交换器自该储罐内部之流体传递或传递至该储罐内部之流体的热量来维持该回路内部之该流体的一实质上恒定之温度。

公开(公告)号：TW201627777A

公开(公告)日：2016-08-01

申请号：TW104140813

申请日：2013-05-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 克佛耶茲 安卓尼斯 亨瑞克 ,  KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK ,  當德斯 史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  菲恩 曼諾 ,  FIEN, MENNO ,  德 葛路特 安東尼司 法蘭西斯科司 喬漢尼司 ,  DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  賈庫博 喬漢斯 亨利哈斯 威廉瑪斯 ,  JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  添 凱特 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  豪班 馬提恩 ,  HOUBEN, MARTIJN ,  拉法瑞 雷孟德 威黑墨斯 路易斯 ,  LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS ,  威斯特雷肯 禎 史蒂芬 克里斯丁 ,  WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN ,  奧維卡皮 金 文森 ,  OVERKAMP, JIM VINCENT ,  凡 比茲南 馬登 ,  VAN BEIJNUM, MAARTEN ,  德 瓊 羅伯 ,  DE JONG, ROB

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70733

Abstract: 一種用於一微影裝置之支撐裝置，其具有一物件固持器及一抽取本體，該抽取本體自該物件固持器徑向地向外。該物件固持器經組態以支撐一物件。該抽取本體包括經組態以自該支撐裝置之一頂部表面抽取流體之一抽取開口。該抽取本體係與該物件固持器隔開，使得該抽取本體自該物件固持器實質上解耦。該抽取本體包含一突出物，該突出物經組態成使得其環繞該物件固持器，且使得在使用時，一液體層保留於該突出物上且接觸該物件固持器上支撐之一物件。

Abstract in simplified Chinese: 一种用于一微影设备之支撑设备，其具有一对象固持器及一抽取本体，该抽取本体自该对象固持器径向地向外。该对象固持器经组态以支撑一对象。该抽取本体包括经组态以自该支撑设备之一顶部表面抽取流体之一抽取开口。该抽取本体系与该对象固持器隔开，使得该抽取本体自该对象固持器实质上解耦。该抽取本体包含一突出物，该突出物经组态成使得其环绕该对象固持器，且使得在使用时，一液体层保留于该突出物上且接触该对象固持器上支撑之一对象。

公开(公告)号：TWI448837B

公开(公告)日：2014-08-11

申请号：TW100134914

申请日：2007-03-15

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 坎普 尼可拉斯 盧朵夫 ,  KEMPER, NICOLAAS RUDOLF ,  唐德斯 史喬德 尼可拉斯 蘭伯特 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  澳坦斯 喬斯特 傑洛恩 ,  OTTENS, JOOST JEROEN ,  珍 寇妮絲 凡 德 郝芬 ,  JAN CORNELIS, VAN DER HOEVEN ,  卡迪可 艾德恩 寇妮絲 ,  KADIJK, EDWIN CORNELIS ,  夏里普夫 瑟傑 ,  SHULEPOV, SERGEI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03B27/42 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70716

公开(公告)号：TWI431434B

公开(公告)日：2014-03-21

申请号：TW099144837

申请日：2006-06-15

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 潭 凱 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  坎普 尼可拉斯 魯道夫 ,  KEMPER, NICOLAAS RUDOLF ,  東德 史傑德 尼可拉斯 藍伯特 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  舒洛普 瑟吉 ,  SHULEPOV, SERGEI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70866 ,  G03F7/70341 ,  H01L21/67034

公开(公告)号：TWI427427B

公开(公告)日：2014-02-21

申请号：TW097145513

申请日：2005-04-04

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 阿卡斯 尤米希 可萊希燦可 ,  KOLESNYCHENKO, ALEKSEY YURIEVICH ,  喬納斯 喬可巴斯 麥修斯 巴賽曼 ,  BASELMANS, JOHANNES JACOBUS MATHEUS ,  史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 當德斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  克里斯汀 亞歷山大 胡根登 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  漢斯 強森 ,  JANSEN, HANS ,  喬翁 喬納斯 蘇菲亞 馬莉亞 馬汀斯 ,  MERTENS, JEROEN JOHANNES SOPHIA MARIA ,  喬納斯 凱瑟尼斯 哈伯特斯 馬肯斯 ,  MULKENS, JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS ,  費力克斯 卡德弗萊 彼得 彼得斯 ,  PEETERS, FELIX GODFRIED PETER ,  包伯 史崔弗科 ,  STREEFKERK, BOB ,  法蘭西斯克斯 喬納斯 赫曼 馬里亞 泰烏尼森 ,  TEUNISSEN, FRANCISCUS JOHANNES HERMAN MARIA ,  賀馬 凡 聖誕 ,  VAN SANTEN, HELMAR

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70341 ,  G03F7/70733 ,  G03F7/70866 ,  G03F7/70908

公开(公告)号：TWI574124B

公开(公告)日：2017-03-11

申请号：TW104140813

申请日：2013-05-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 克佛耶茲 安卓尼斯 亨瑞克 ,  KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK ,  當德斯 史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  菲恩 曼諾 ,  FIEN, MENNO ,  德 葛路特 安東尼司 法蘭西斯科司 喬漢尼司 ,  DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  賈庫博 喬漢斯 亨利哈斯 威廉瑪斯 ,  JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  添 凱特 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  豪班 馬提恩 ,  HOUBEN, MARTIJN ,  拉法瑞 雷孟德 威黑墨斯 路易斯 ,  LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS ,  威斯特雷肯 禎 史蒂芬 克里斯丁 ,  WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN ,  奧維卡皮 金 文森 ,  OVERKAMP, JIM VINCENT ,  凡 比茲南 馬登 ,  VAN BEIJNUM, MAARTEN ,  德 瓊 羅伯 ,  DE JONG, ROB

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70733

公开(公告)号：TWI574117B

公开(公告)日：2017-03-11

申请号：TW102118695

申请日：2013-05-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 克佛耶茲 安卓尼斯 亨瑞克 ,  KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK ,  當德斯 史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  菲恩 曼諾 ,  FIEN, MENNO ,  德 葛路特 安東尼司 法蘭西斯科司 喬漢尼司 ,  DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  賈庫博 喬漢斯 亨利哈斯 威廉瑪斯 ,  JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  添 凱特 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  豪班 馬提恩 ,  HOUBEN, MARTIJN ,  拉法瑞 雷孟德 威黑墨斯 路易斯 ,  LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS ,  威斯特雷肯 禎 史蒂芬 克里斯丁 ,  WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN ,  奧維卡皮 金 文森 ,  OVERKAMP, JIM VINCENT ,  凡 比茲南 馬登 ,  VAN BEIJNUM, MAARTEN ,  德 瓊 羅伯 ,  DE JONG, ROB

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70733

公开(公告)号：TWI460552B

公开(公告)日：2014-11-11

申请号：TW101111186

申请日：2012-03-29

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 當德斯 史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  白尼 凡丁 葉弗真葉米希 ,  BANINE, VADIM YEVGENYEVICH ,  莫斯 喬漢斯 哈博特 喬瑟菲那 ,  MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA ,  微哈珍 馬提那斯 康納斯 瑪利亞 ,  VERHAGEN, MARTINUS CORNELIS MARIA ,  佛利恩斯 歐勒夫 華德瑪 佛勒迪米爾 ,  FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR ,  凡 東 吉瑞特 ,  VAN DONK, GERRIT ,  凡 吉納 漢克 詹 ,  VAN GERNER, HENK JAN

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70858 ,  F28D15/0266