公开(公告)号：TW201516582A

公开(公告)日：2015-05-01

申请号：TW103135088

申请日：2014-10-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 巴特勒 漢斯 ,  BUTLER, HANS ,  卡米迪 雷米丁 伊薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  卡紗彌蘇 雅妮 ,  KASEMSINSUP, YANIN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01B9/02 ,  G01B11/002 ,  G03F7/70725

Abstract: 一種物件定位系統，其包括：一物件；一量測系統，其用於量測該物件之位置；一致動器系統，其用於定位該物件；一控制系統，其經組態以驅動該致動器系統，其中該量測系統之每一感測器在該物件上具有一關聯量測區域，其中該物件上之至少一個量測區域之一部位相依於該物件之該位置，其中該控制系統包含一觀測器，該觀測器具有該物件之一動態模型以估計該物件之一內部動態行為，其中該動態模型包括至少一個量測區域之該部位對該物件之該位置的該相依性，且其中該控制系統經組態以亦相依於該觀測器之一輸出而驅動該致動器系統。

Abstract in simplified Chinese: 一种对象定位系统，其包括：一对象；一量测系统，其用于量测该对象之位置；一致动器系统，其用于定位该对象；一控制系统，其经组态以驱动该致动器系统，其中该量测系统之每一传感器在该对象上具有一关联量测区域，其中该对象上之至少一个量测区域之一部位相依于该对象之该位置，其中该控制系统包含一观测器，该观测器具有该对象之一动态模型以估计该对象之一内部动态行为，其中该动态模型包括至少一个量测区域之该部位对该对象之该位置的该相依性，且其中该控制系统经组态以亦相依于该观测器之一输出而驱动该致动器系统。

公开(公告)号：TW201608346A

公开(公告)日：2016-03-01

申请号：TW104116328

申请日：2015-05-21

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 巴特勒 漢司 ,  BUTLER, HANS ,  安真南 威赫目斯 漢瑞克斯 賽多魯司 馬力雅 ,  AANGENENT, WILHELMUS HENRICUS THEODORUS M ,  德克斯 尼克 賈斯伯 ,  DIRKX, NIC JASPER ,  卡米迪 雷米丁 伊薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  西蒙斯 威爾海莫斯 法蘭西斯可思 喬翰尼斯 ,  SIMONS, WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70775 ,  G03F9/7088 ,  G03F9/7092

Abstract: 本發明係關於一種物件定位系統，其包含一可移動物件、一致動器系統及一控制系統。該可移動物件相對於一參考件可移動。該致動器系統經組態以在該物件上之一力施加部位處將一力施加至該物件，以便相對於該參考件移動該可移動物件。該控制系統經組態以相對於該參考件來定位該物件之一所關注點。該控制系統經組態以基於表示該力施加部位與該所關注點之間的一空間關係之一參數而驅動該致動器系統。該參數取決於表示該物件相對於該參考件之一位置之一另外參數。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种对象定位系统，其包含一可移动对象、一致动器系统及一控制系统。该可移动对象相对于一参考件可移动。该致动器系统经组态以在该对象上之一力施加部位处将一力施加至该对象，以便相对于该参考件移动该可移动对象。该控制系统经组态以相对于该参考件来定位该对象之一所关注点。该控制系统经组态以基于表示该力施加部位与该所关注点之间的一空间关系之一参数而驱动该致动器系统。该参数取决于表示该对象相对于该参考件之一位置之一另外参数。

公开(公告)号：TWI398738B

公开(公告)日：2013-06-11

申请号：TW097105623

申请日：2008-02-18

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 雷米丁 拉薩爾 卡米迪 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  漢李克斯 赫曼 馬里 寇克斯 ,  COX, HENRIKUS HERMAN MARIE ,  羅那多 凱司伯 肯司特 ,  KUNST, RONALD CASPER ,  葉瑟芙 卡倫 馬莉雅 丹 佛絲 ,  DE VOS, YOUSSEF KAREL MARIA

IPC: G03F7/20 ,  G03B27/42

CPC classification number: G03F7/709 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758

公开(公告)号：TWI620991B

公开(公告)日：2018-04-11

申请号：TW102143313

申请日：2013-11-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡 丹 威爾 馬里斯 馬力亞 喬漢那斯 ,  VAN DE WAL, MARINUS MARIA JOHANNES ,  卡米迪 雷米丁 拉薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  曼蘇里 凱立德 ,  MANSSOURI, KHALID ,  安真南 威赫目斯 漢瑞克斯 賽多魯司 馬力雅 ,  AANGENENT, WILHELMUS HENRICUS THEODORUS MARIA

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70783

公开(公告)号：TW201428434A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：TW102143313

申请日：2013-11-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡 丹 威爾 馬里斯 馬力亞 喬漢那斯 ,  VAN DE WAL, MARINUS MARIA JOHANNES ,  卡米迪 雷米丁 拉薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  曼蘇里 凱立德 ,  MANSSOURI, KHALID ,  安真南 威赫目斯 漢瑞克斯 賽多魯司 馬力雅 ,  AANGENENT, WILHELMUS HENRICUS THEODORUS MARIA

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70783

Abstract: 一種微影裝置，其包括：一物件，其具有順應動力學；複數個致動器，其經組態以作用於該受驅動物件，其中該複數個致動器在一致動器自由度中被超定；一控制系統，其包括一變換矩陣，該控制系統經組態以回應於一設定點序列而產生用於該複數個致動器中每一者之控制器輸出信號，其中該變換矩陣經組態成使得該等控制器輸出信號在至少一自由度中未激發該物件之該等順應動力學。

Abstract in simplified Chinese: 一种微影设备，其包括：一对象，其具有顺应动力学；复数个致动器，其经组态以作用于该受驱动对象，其中该复数个致动器在一致动器自由度中被超定；一控制系统，其包括一变换矩阵，该控制系统经组态以回应于一设置点串行而产生用于该复数个致动器中每一者之控制器输出信号，其中该变换矩阵经组态成使得该等控制器输出信号在至少一自由度中未激发该对象之该等顺应动力学。

公开(公告)号：TWI618989B

公开(公告)日：2018-03-21

申请号：TW103135088

申请日：2014-10-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 巴特勒 漢斯 ,  BUTLER, HANS ,  卡米迪 雷米丁 伊薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  卡紗彌蘇 雅妮 ,  KASEMSINSUP, YANIN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01B9/02 ,  G01B11/002 ,  G03F7/70725

公开(公告)号：TWI454853B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：TW100140012

申请日：2011-11-02

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 卡米迪 雷米丁 拉薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  巴特勒 漢斯 ,  BUTLER, HANS ,  胡克斯 瑪汀 ,  HOUKES, MARTIJN ,  凡 丹 威爾 馬里斯 馬力亞 喬漢那斯 ,  VAN DE WAL, MARINUS MARIA JOHANNES ,  范 德 維恩 賈諾 喬漢 馬汀 ,  VAN DE WIJDEVEN, JEROEN JOHAN MAARTEN

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G05B19/402 ,  G05B2219/41017 ,  G05B2219/45028 ,  Y02P90/265

公开(公告)号：TWI383267B

公开(公告)日：2013-01-21

申请号：TW097104091

申请日：2008-02-01

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 馬克 康士坦 喬翰尼斯 貝根 ,  BAGGEN, MARK CONSTANT JOHANNES ,  比特斯 馬里斯 克里斯汀 馬里亞 凡 登 比吉勒 ,  VAN DEN BIGGELAAR, PETRUS MARINUS CHRISTIANUS MARIA ,  鄒殷廷 ,  TSO, YIN TIM ,  馬瑟爾 法蘭可伊斯 希爾傑 ,  HEERTJES, MARCEL FRANCOIS ,  雷米丁 拉薩爾 卡米迪 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  丹尼斯 安卓亞斯 比特斯 修伯提那 豪班 ,  HOUBEN, DENNIS ANDREAS PETRUS HUBERTINA ,  貝根 康斯坦特 保羅 馬利 喬瑟夫 ,  BAGGEN, CONSTANT PAUL MARIE JOZEF ,  馬力那斯 傑寇伯斯 傑拉德斯 凡 登 莫倫葛拉夫 ,  VAN DE MOLENGRAFT, MARINUS JACOBUS GERARDUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G05B5/01 ,  G03F7/70725 ,  G05B13/0265