公开(公告)号：TW201348892A

公开(公告)日：2013-12-01

申请号：TW102111961

申请日：2013-04-02

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 拉法瑞 雷孟德 威黑墨斯 路易斯 ,  LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS ,  迪李奧基納 妮納 弗拉基米羅夫娜 ,  DZIOMKINA, NINA VLADIMIROVNA ,  卡拉迪 尤基許 帕雷莫 ,  KARADE, YOGESH PRAMOD ,  羅登柏格 伊莉莎白 寇妮 ,  RODENBURG, ELISABETH CORINNE ,  新 哈米特 ,  SINGH, HARMEET

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6875

Abstract: 一種供一微影裝置中使用之基板支架，該基板支架包括：一主體，其具有一表面；複數個瘤節，其自該表面突出且具有用以支撐一基板之末端表面；及一薄膜堆疊，其在該主體表面上且形成一電組件，該薄膜堆疊具有一導電層，該導電層經組態以使電荷貫穿經定位有該導電層的該堆疊之一平面實質上均一地分佈。

Abstract in simplified Chinese: 一种供一微影设备中使用之基板支架，该基板支架包括：一主体，其具有一表面；复数个瘤节，其自该表面突出且具有用以支撑一基板之末端表面；及一薄膜堆栈，其在该主体表面上且形成一电组件，该薄膜堆栈具有一导电层，该导电层经组态以使电荷贯穿经定位有该导电层的该堆栈之一平面实质上均一地分布。

公开(公告)号：TWI486721B

公开(公告)日：2015-06-01

申请号：TW101103932

申请日：2012-02-07

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 拉法爾 雷蒙 威廉默斯 路易斯 ,  LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS ,  添 凱特 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  迪李奧基納 妮納 弗拉基米羅夫娜 ,  DZIOMKINA, NINA VLADIMIROVNA ,  卡拉迪 尤基許 帕雷莫 ,  KARADE, YOGESH PRAMOD ,  特洛普 塞弗烈德 亞歷山德 ,  TROMP, SIEGFRIED ALEXANDER ,  萊傑森 賈寇柏斯 喬瑟夫斯 ,  LEIJSSEN, JACOBUS JOSEPHUS ,  羅登柏格 伊莉莎白 寇妮 ,  RODENBURG, ELISABETH CORINNE ,  費傑茲 馬里斯 威爾赫摩斯 理歐那朵司 亨利克司 ,  FEIJTS, MAURICE WILHELMUS LEONARDUS HENDRICUS ,  休斯曼 漢卓克 ,  HUISMAN, HENDRIK

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  B05D3/02 ,  G01J5/0285 ,  G01J5/20 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70708

公开(公告)号：TWI507828B

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：TW102111961

申请日：2013-04-02

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 拉法瑞 雷孟德 威黑墨斯 路易斯 ,  LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS ,  迪李奧基納 妮納 弗拉基米羅夫娜 ,  DZIOMKINA, NINA VLADIMIROVNA ,  卡拉迪 尤基許 帕雷莫 ,  KARADE, YOGESH PRAMOD ,  羅登柏格 伊莉莎白 寇妮 ,  RODENBURG, ELISABETH CORINNE ,  新 哈米特 ,  SINGH, HARMEET

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6875