公开(公告)号：TWI402632B

公开(公告)日：2013-07-21

申请号：TW098122455

申请日：2009-07-02

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 庫特 簡 傑彼 ,  KUIT, JAN JAAP ,  庫伯 多伊德 法蘭斯 ,  KUIPER, DOEDE FRANS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70875 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70775

公开(公告)号：TWI643025B

公开(公告)日：2018-12-01

申请号：TW104119469

申请日：2015-06-16

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 克歇梅克斯 山德 ,  KERSSEMAKERS, SANDER ,  丹 邦伊 威海明司 派特斯 ,  DE BOEIJ, WILHELMUS PETRUS ,  德 蘭奇 葛本 法蘭克 ,  DE LANGE, GERBEN FRANK ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  凡 吉斯 比卓斯 法新克司 ,  VAN GILS, PETRUS FRANCISCUS ,  卡敏加 吉而摩 馬修斯 ,  庫特 簡 傑彼 ,  KUIT, JAN JAAP ,  斯庫爾曼斯 卡羅斯 裘漢斯 凱薩琳娜 ,  SCHOORMANS, CAROLUS JOHANNES CATHARINA

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：TW201602737A

公开(公告)日：2016-01-16

申请号：TW104119469

申请日：2015-06-16

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 克歇梅克斯 山德 ,  KERSSEMAKERS, SANDER ,  丹 邦伊 威海明司 派特斯 ,  DE BOEIJ, WILHELMUS PETRUS ,  德 蘭奇 葛本 法蘭克 ,  DE LANGE, GERBEN FRANK ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  凡 吉斯 比卓斯 法新克司 ,  VAN GILS, PETRUS FRANCISCUS ,  卡敏加 吉而摩 馬修斯 ,  庫特 簡 傑彼 ,  KUIT, JAN JAAP ,  斯庫爾曼斯 卡羅斯 裘漢斯 凱薩琳娜 ,  SCHOORMANS, CAROLUS JOHANNES CATHARINA

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70425 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70716

Abstract: 一種微影設備，其包含：一支撐結構，其經組態以在支撐在掃描方向上具有一第一廣度的一圖案化裝置時在一單一掃描操作期間移動達一第一掃描距離，且在支撐在該掃描方向上具有一第二廣度的一圖案化裝置時在一單一掃描操作期間移動達一第二掃描距離；及一基板台，其經組態以在該支撐結構支撐在該掃描方向上具有該第一廣度的一圖案化裝置時在一單一掃描操作期間移動達一第三掃描距離，且在該支撐結構支撐在該掃描方向上具有該第二廣度的一圖案化裝置時在一單一掃描操作期間移動達一第四掃描距離。

Abstract in simplified Chinese: 一种微影设备，其包含：一支撑结构，其经组态以在支撑在扫描方向上具有一第一广度的一图案化设备时在一单一扫描操作期间移动达一第一扫描距离，且在支撑在该扫描方向上具有一第二广度的一图案化设备时在一单一扫描操作期间移动达一第二扫描距离；及一基板台，其经组态以在该支撑结构支撑在该扫描方向上具有该第一广度的一图案化设备时在一单一扫描操作期间移动达一第三扫描距离，且在该支撑结构支撑在该扫描方向上具有该第二广度的一图案化设备时在一单一扫描操作期间移动达一第四扫描距离。