Patent search ap:("ASML荷蘭公司" OR "ASML NETHERLANDS B. V.") AND inv:"SYRPIS Page THEODOSIOS"

1.

发明专利
用於靶材供應及回收之方法及裝置有权
Simplified title: 用于靶材供应及回收之方法及设备

公开(公告)号：TWI628979B

公开(公告)日：2018-07-01

申请号：TW103109059

申请日：2014-03-13

Applicant: ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 維斯晨庫喬治O , VASCHENKO, GEORGIY O. , 包姆加特彼得M , BAUMGART, PETER M. , 加庫坦傑佛瑞 , GACUTAN, JEFFREY , 亞哥特斯 J 馬丁 , ALGOTS, J. MARTIN , 塞比斯索德斯 , SYRPIS, THEODOSIOS , 雷吉言古魯奇拉格 , RAJYAGURU, CHIRAG , 賽沙吉里珊吉夫 , SESHAGIRI, SANJEEV

IPC: H05G2/00 , G03F7/20

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