公开(公告)号：TWI633398B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：TW106127219

申请日：2016-04-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 摩斯艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS,EVERHARDUS CORNELIS ,  艾格納托華弗麗斯拉娃 ,  IGNATOVA,VELISLAVA ,  傑森艾瑞克 ,  JENSEN,ERIK ,  庫必司麥克 ,  KUBIS,MICHAEL ,  賽門赫伯特 喬漢那 葛特斯 ,  SIMONS,HUBERTUS JOHANNES GERTRUDUS ,  譚 伯格彼德 ,  TEN BERGE,PETER ,  瓦勒伯斯艾瑞克 裘漢斯 瑪麗亞 ,  WALLERBOS,ERIK JOHANNES MARIA ,  威爾登伯格裘簡 賽巴斯汀 ,  WILDENBERG,JOCHEM SEBASTIAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/66

公开(公告)号：TW201740220A

公开(公告)日：2017-11-16

申请号：TW106127219

申请日：2016-04-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 摩斯艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS,EVERHARDUS CORNELIS ,  艾格納托華弗麗斯拉娃 ,  IGNATOVA,VELISLAVA ,  傑森艾瑞克 ,  JENSEN,ERIK ,  庫必司麥克 ,  KUBIS,MICHAEL ,  賽門赫伯特 喬漢那 葛特斯 ,  SIMONS,HUBERTUS JOHANNES GERTRUDUS ,  譚 伯格彼德 ,  TEN BERGE,PETER ,  瓦勒伯斯艾瑞克 裘漢斯 瑪麗亞 ,  WALLERBOS,ERIK JOHANNES MARIA ,  威爾登伯格裘簡 賽巴斯汀 ,  WILDENBERG,JOCHEM SEBASTIAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06F17/18 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7003 ,  G06F17/5009 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 一種方法，其包括：關於表示擬合經量測資料之一數學模型之剩餘不確定度之一參數、對照橫越一基板之量測資料而評估用於擬合經量測資料之一或多個數學模型及用於量測資料之一或多個量測取樣方案；及識別使該參數越過一臨限值之一或多個數學模型及/或一或多個量測取樣方案。

Abstract in simplified Chinese: 一种方法，其包括：关于表示拟合经量测数据之一数学模型之剩余不确定度之一参数、对照横越一基板之量测数据而评估用于拟合经量测数据之一或多个数学模型及用于量测数据之一或多个量测采样方案；及识别使该参数越过一临限值之一或多个数学模型及/或一或多个量测采样方案。