公开(公告)号：TWI633398B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：TW106127219

申请日：2016-04-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 摩斯艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS,EVERHARDUS CORNELIS ,  艾格納托華弗麗斯拉娃 ,  IGNATOVA,VELISLAVA ,  傑森艾瑞克 ,  JENSEN,ERIK ,  庫必司麥克 ,  KUBIS,MICHAEL ,  賽門赫伯特 喬漢那 葛特斯 ,  SIMONS,HUBERTUS JOHANNES GERTRUDUS ,  譚 伯格彼德 ,  TEN BERGE,PETER ,  瓦勒伯斯艾瑞克 裘漢斯 瑪麗亞 ,  WALLERBOS,ERIK JOHANNES MARIA ,  威爾登伯格裘簡 賽巴斯汀 ,  WILDENBERG,JOCHEM SEBASTIAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/66

公开(公告)号：TW201921171A

公开(公告)日：2019-06-01

申请号：TW108105140

申请日：2017-11-23

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 凡 哈倫理查 喬哈奈 法蘭西卡斯 ,  VAN HAREN,RICHARD JOHANNES FRANCISCUS ,  卡拉多維克托 艾曼紐 ,  CALADO,VICTOR EMANUEL ,  凡 迪傑克里昂 保羅 ,  VAN DIJK,LEON PAUL ,  渥克曼羅伊 ,  WERKMAN,ROY ,  摩斯艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS,EVERHARDUS CORNELIS ,  威爾登伯格裘簡 賽巴斯汀 ,  WILDENBERG,JOCHEM SEBASTIAAN ,  喬錢森馬利那 ,  JOCHEMSEN,MARINUS ,  拉傑什卡蘭比喬伊 ,  RAJASEKHARAN,BIJOY ,  傑森艾瑞克 ,  JENSEN,ERIK ,  厄班澤克亞當 簡 ,  URBANCZYK,ADAM JAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/30 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本發明揭示一種用以改變一基板蝕刻程序之一蝕刻參數之方法，該方法包含：在一基板上之一結構經蝕刻之前進行與該基板上之該結構相關聯的一第一度量之一第一量測；在一基板上之一結構經蝕刻之後進行與該基板上之該結構相關聯的一第二度量之一第二量測；及基於該第一量測與該第二量測之間的一差改變該蝕刻參數。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种用以改变一基板蚀刻进程之一蚀刻参数之方法，该方法包含：在一基板上之一结构经蚀刻之前进行与该基板上之该结构相关联的一第一度量之一第一量测；在一基板上之一结构经蚀刻之后进行与该基板上之该结构相关联的一第二度量之一第二量测；及基于该第一量测与该第二量测之间的一差改变该蚀刻参数。

公开(公告)号：TW201740220A

公开(公告)日：2017-11-16

申请号：TW106127219

申请日：2016-04-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 摩斯艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS,EVERHARDUS CORNELIS ,  艾格納托華弗麗斯拉娃 ,  IGNATOVA,VELISLAVA ,  傑森艾瑞克 ,  JENSEN,ERIK ,  庫必司麥克 ,  KUBIS,MICHAEL ,  賽門赫伯特 喬漢那 葛特斯 ,  SIMONS,HUBERTUS JOHANNES GERTRUDUS ,  譚 伯格彼德 ,  TEN BERGE,PETER ,  瓦勒伯斯艾瑞克 裘漢斯 瑪麗亞 ,  WALLERBOS,ERIK JOHANNES MARIA ,  威爾登伯格裘簡 賽巴斯汀 ,  WILDENBERG,JOCHEM SEBASTIAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06F17/18 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7003 ,  G06F17/5009 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 一種方法，其包括：關於表示擬合經量測資料之一數學模型之剩餘不確定度之一參數、對照橫越一基板之量測資料而評估用於擬合經量測資料之一或多個數學模型及用於量測資料之一或多個量測取樣方案；及識別使該參數越過一臨限值之一或多個數學模型及/或一或多個量測取樣方案。

Abstract in simplified Chinese: 一种方法，其包括：关于表示拟合经量测数据之一数学模型之剩余不确定度之一参数、对照横越一基板之量测数据而评估用于拟合经量测数据之一或多个数学模型及用于量测数据之一或多个量测采样方案；及识别使该参数越过一临限值之一或多个数学模型及/或一或多个量测采样方案。