公开(公告)号：WO2015062791A1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：PCT/EP2014/070472

申请日：2014-09-25

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： BUTLER, Hans ,  KAMIDI, Ramidin, Izair ,  KASEMSINSUP, Yanin

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01B9/02 ,  G01B11/002 ,  G03F7/70725

Abstract: An object positioning system includes an object (P); a measurement system (MS) for measuring the position (APOS) of the object; an actuator system (AS) for positioning the object; a control system (CU, OBS) configured to drive the actuator system, wherein each sensor of the measurement system has an associated measurement area on the object, wherein a location of at least one measurement area on the object is dependent on the position of the object, wherein the control system (CU, OBS) comprises an observer (OBS) with a dynamic model of the object to estimate an internal dynamic behavior (IDB) of the object, wherein the dynamic model includes the dependency of the location of at least one measurement area on the position of the object, and wherein the control system (CU, OBS) is configured to drive the actuator system (AS) in dependency of an output (IDB) of the observer (OBS) as well.

Abstract translation: 物体定位系统包括物体（P）; 用于测量物体的位置（APOS）的测量系统（MS）; 用于定位物体的致动器系统（AS）; 配置为驱动所述致动器系统的控制系统（CU，OBS），其中所述测量系统的每个传感器在所述物体上具有相关联的测量区域，其中所述物体上的至少一个测量区域的位置取决于所述物体的位置 对象，其中所述控制系统（CU，OBS）包括具有所述对象的动态模型的观察者（OBS）以估计所述对象的内部动态行为（IDB），其中所述动态模型包括至少所述位置的依赖性 所述对象的位置上的一个测量区域，并且其中所述控制系统（CU，OBS）被配置为依赖于所述观察者（OBS）的输出（IDB）来驱动所述致动器系统（AS）。