公开(公告)号：NL2006058A

公开(公告)日：2011-09-06

申请号：NL2006058

申请日：2011-01-25

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VERHAAR BOUDEWIJN ,  GEERKE JOHAN ,  ANGELIS GEORGO ,  HAMERS MARTIJN ,  GEERLINGS ALEXANDER ,  HOEKSTRA PETER ,  HARDEMAN TOON

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2006014A

公开(公告)日：2011-09-06

申请号：NL2006014

申请日：2011-01-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VERHAAR BOUDEWIJN ,  GEERKE JOHAN ,  HAMERS MARTIJN ,  GEERLINGS ALEXANDER ,  HOEKSTRA PETER ,  HARDEMAN TOON

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68