公开(公告)号：NL2010642A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：NL2010642

申请日：2013-04-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： JACOBS JOHANNES ,  WESTERLAKEN JAN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2012291A

公开(公告)日：2014-08-21

申请号：NL2012291

申请日：2014-02-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  ASML HOLDING NV

Inventor： CUYPERS KOEN ,  ANDRADE OLIVEIRA MARCELO ,  REMIE MARINUS ,  SINGH CHATTARBIR ,  BOKHOVEN LAURENTIUS ,  VEN HENRICUS ,  FONSECA JUNIOR JOS ,  BOXTEL FRANK ,  BURBANK DANIEL ,  LOOPSTRA ERIK ,  ONVLEE JOHANNES ,  SCHUSTER MARK ,  BALLEGOIJ ROBERTUS ,  WARD CHRISTOPHER ,  WESTERLAKEN JAN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010465A

公开(公告)日：2013-10-28

申请号：NL2010465

申请日：2013-03-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHOLTEN BERT ,  RUTTEN ROB ,  WESTERLAKEN JAN ,  REMIE MARTIN ,  BROK JOOST

IPC: G03F7/20