公开(公告)号：NL2010465A

公开(公告)日：2013-10-28

申请号：NL2010465

申请日：2013-03-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHOLTEN BERT ,  RUTTEN ROB ,  WESTERLAKEN JAN ,  REMIE MARTIN ,  BROK JOOST

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2004598A

公开(公告)日：2010-11-30

申请号：NL2004598

申请日：2010-04-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： EIJK JAN ,  DONDERS SJOERD ,  JACOBS JOHANNES ,  KATE NICOLAAS ,  VERMEULEN JOHANNES ,  ZAAL KOEN ,  REMIE MARTIN

IPC: G03F7/20