公开(公告)号：KR20180030197A

公开(公告)日：2018-03-21

申请号：KR20187004719

申请日：2016-07-05

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VAN DER POST SIETSE THIJMEN ,  ZIJP FERRY ,  ROOBOL SANDER BAS

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70625

Abstract: 타겟으로부터의갭에서광학구성요소를이용하여측정되는타겟에대한방사선세기분포를수반하는방법이개시되며, 상기방법은: 측정된방사선세기분포및 타겟을설명하는수학적모델을이용하여관심파라미터의값을결정하는단계를포함하고, 상기모델은광학구성요소의표면또는그 일부분의거칠기에대한유효매질근사를포함한다.

Abstract translation: 公开了一种方法，该方法涉及使用在距目标的间隙中的光学部件测量的目标的辐射强度分布，该方法包括：使用描述测量的辐射强度分布和目标的数学模型， 其中该模型包括对光学部件或其一部分的表面的粗糙度的有效介质近似。

公开(公告)号：WO2016135166A3

公开(公告)日：2016-10-27

申请号：PCT/EP2016053809

申请日：2016-02-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VAN BERKEL KOOS ,  AKBULUT DUYGU ,  VAN DE WIJDEVEN JEROEN JOHAN MAARTEN ,  ZIJP FERRY

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G02B21/00

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01N21/956 ,  G02B21/0016 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7019

Abstract: A method and apparatus for position control of a component relative to a surface is disclosed. The method may include calculating an estimated effect of, or derived from, Casimir force acting between the component and the surface, and compensating positioning of the component relative to the surface using the estimated effect.

Abstract translation: 公开了一种用于相对于表面的部件的位置控制的方法和装置。 该方法可以包括计算在组件和表面之间作用的卡西米力的估计效果或来自其的效果，以及使用估计的效果来补偿部件相对于表面的定位。

公开(公告)号：WO2016142214A3

公开(公告)日：2017-04-06

申请号：PCT/EP2016054310

申请日：2016-03-01

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VAN VOORST PETER DANNY ,  AKBULUT DUYGU ,  VAN BERKEL KOOS ,  VAN DE WIJDEVEN JEROEN JOHAN MAARTEN ,  ZIJP FERRY

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G02B21/00

CPC classification number: G03F7/70483 ,  G01B11/00 ,  G01N21/956 ,  G02B21/0016 ,  G02B27/0988 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: A method of position control of an optical component relative to a surface is disclosed. The method may include: obtaining a first signal by a first position measurement process; controlling relative movement between the optical component and the surface for a first range of motion using the first signal; obtaining a second signal by a second position measurement process different than the first position measurement process; and controlling relative movement between the optical component and the surface for a second range of motion using the second signal, the second range of motion being nearer the surface than the first range of motion.

Abstract translation: 公开了一种光学部件相对于表面的位置控制的方法。 该方法可以包括：通过第一位置测量处理获得第一信号; 使用所述第一信号来控制所述光学部件和所述表面之间的第一运动范围的相对运动; 通过与第一位置测量处理不同的第二位置测量处理获得第二信号; 以及使用所述第二信号来控制所述光学部件和所述表面之间的相对运动的第二运动范围，所述第二运动范围比所述第一运动范围更靠近所述表面。